《迈来芯MEMS绝对压力传感器MLX90834产品分析》
2025-11-07 09:41:13   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

Melexis Triphibian MEMS Pressure Sensor MLX90834

迈来芯（Melexis）MEMS绝对压力传感器MLX90834是一款基于Triphibian®技术的MEMS绝对压力传感器，能够对2 bar至70 bar的气体和液体介质进行可靠的压力测量，并且符合化学冷媒的要求。该压力传感器经过出厂校准，可提供SENT电压输出。

根据Yole发布的《MEMS产业现状-2025版》报告显示，预计到2030年MEMS压力传感器市场规模将达到近27亿美元，2024年至2030年的复合年增长率（CAGR）为3.7%。增长主要由消费电子应用（智能手机、智能手表和TWS耳机）以及汽车电子应用（胎压监测系统（TPMS）、电动汽车（EV）和暖通空调系统（HVAC））共同驱动。

本逆向分析报告详细分析了迈来芯（Melexis）公司的Triphibian MEMS绝对压力传感器MLX90834的技术、制造成本和售价。该传感器采用前所未有的小型化设计，能够测量2 bar至70 bar范围内的气体和液体压力，精度为满量程的±0.5%。

基于Triphibian技术的MEMS绝对压力传感器MLX90834

MEMS绝对压力传感器MLX90834剖面图

MEMS压力传感芯片

据麦姆斯咨询介绍，MLX90834以突破性的Triphibian技术为核心，不仅使MEMS传感芯片能够实现远高于5 bar的精确测量，而且可以实现液体接触式测量。MLX90834具有独特构造，实现了创新性突破，既能进行高压感测，又能与气体和液体兼容。

MLX90834开发为符合ISO 26262要求的独立安全单元（SEooC），支持ASIL B级系统集成，可确保满足最新的电动汽车安全需求。这使得MLX90834适用于电动汽车热管理、HVAC-R系统、发动机机油监测和变速箱油液监测等应用。

MLX90834采用SOIC-16封装，尺寸为10.4 mm × 10.3 mm × 2.3 mm，总面积为 107.12 mm²。它集成了一个暴露于环境中的悬挂悬臂式MEMS压力传感芯片，以及一个通过引线键合连接的ASIC芯片。该传感器换能机制采用位于可偏转薄膜附近的压敏电阻实现，这些压敏电阻排列成惠斯通电桥以用于信号读出。该信号经放大后可转换为数字信号，通过16位数字信号处理（DSP）进行补偿。

MEMS压力传感芯片俯视图（红外成像）

MEMS压力传感芯片的悬挂悬臂设计提供高达2000 bar/msec的压力峰值抗扰度和高达210 bar的静态爆破压强水平。该传感器具有可编程的压强量程校准范围，可针对电动汽车热管理系统的需求进行量身定制，包括冷媒的低压、高压制冷回路。

这份报告包含丰富的MEMS压力传感器光学照片和扫描电镜（SEM）图像，以及从晶圆衬底到最终封装的完整成本分析。

如果您希望购买《迈来芯MEMS绝对压力传感器MLX90834产品分析》报告，请联系麦姆斯咨询王懿，邮箱：wangyi#memsconsulting.com（#换成@）；电话：17898818163。