《压电MEMS传感器和执行器对比分析-2025版》
2025-10-30 14:05:47   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

PiezoMEMS Comparison 2025

本报告深度分析11种压电MEMS传感器和执行器，包括xMEMS的MEMS扬声器、uSound的MEMS扬声器、高通（原Vesper）的MEMS语音加速度计和MEMS麦克风、TDK的ToF超声波传感器、poLight的自动对焦执行器。

根据Yole发布的《压电MEMS技术及市场-2025版》报告预测，压电MEMS市场规模将在2030年达到近60亿美元，2024年至2030年的复合年增长率（CAGR）为6%。压电MEMS市场增长的驱动力主要来自现有产品和新兴应用，例如MEMS扬声器、MEMS微镜和MEMS风扇等。

本报告对11种基于压电MEMS技术的产品进行了详细对比分析，涵盖技术、供应链和成本结构，涉及的产品如下：

- 压电MEMS扬声器包括xMEMS的Montara和Cowell，以及USound的Achelous和Conamara。这些微型扬声器被应用于Singularity ONI耳机、SoundPEATS Capsule3 Pro+耳机、Soranik MEMS-3S耳机，以及Nordic Audio核磁共振（MRI）安全耳机等。

xMEMS压电MEMS扬声器Montara

xMEMS压电MEMS扬声器Montara芯片

USound压电MEMS扬声器Conamara（样刊隐藏数据）

- 压电MEMS语音加速度计包括高通（原Vesper）的VA1200、VA1201；压电MEMS麦克风包括高通（原Vesper）的VM100、VM1010、VM3000。这些产品被应用于Technics耳机、Misfit Vapor 1智能手表、Airthings View Plus环境监测器、ARLO Go 2相机。

高通（原Vesper）压电MEMS语音加速度计芯片

高通（原Vesper）压电MEMS麦克风开盖照片

- 压电MEMS超声波传感器包括TDK Chirp的CH-101。这款产品利用压电MEMS超声换能器（PMUT）芯片发射超声波脉冲，然后接收目标物体返射的回波。通过计算超声波飞行时间（ToF），其可以获得目标物体的距离信息。CH-101主要应用是汽车舱内手势识别、虚拟现实（VR）/增强现实（AR）、家用机器人、智能音箱和无人机。

TDK Chirp压电MEMS超声波传感器CH-101

TDK Chirp压电MEMS超声波传感器芯片

- 压电MEMS自动对焦执行器包括PoLight的TLens自动对焦器件，该产品被应用于小米米兔儿童学习手表4 Pro、HTC Vive Focus Plus头戴式显示设备、Magic Leap 2混合现实眼镜。

Magic Leap 2混合现实眼镜中基于TLens自动对焦技术的摄像头模组

PoLight的TLens自动对焦器件

本报告探讨了各种压电薄膜材料，涉及PZT、AlN、Sc掺杂的AlN（AlScN），并研究了多种制造方法，例如溶胶-凝胶法（Sol-Gel）、物理气相沉积（PVD）。本报告详细介绍了压电MEMS器件的设计、制造和成本，并结合光学成像和扫描电镜成像（SEM）以及横截面分析提供了深入的见解。

压电MEMS晶圆成本对比分析（样刊隐藏数据）

本报告重点分析了不同压电MEMS厂商在晶圆衬底选择、MEMS芯片设计、ASIC芯片工艺节点和成本构成方面的差异。

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