- 2026-05-10 08:59:52·全硅多点二维光束扫描MEMS微镜：MEMS-DOE架构同时实现激光分束和操控
- 2026-05-10 08:22:11·面向入耳式应用的高性能压电MEMS扬声器设计与制造
- 2026-05-08 17:07:42·可调谐MEMS-VCSEL的高对比度光栅优化
- 2026-02-15 10:36:19·天津理工在压电MEMS扬声器领域获进展，提高声压级和可靠性
- 2026-01-22 15:35:16·全球首个基于MEMS开关的继电器电源面板通过热切换验证
- 2026-01-14 14:35:03·SonicEdge授权调制超声波IP，加速MEMS扬声器市场发展
- 2025-12-23 11:36:34·综述：MEMS电磁执行器的最新设计与应用进展
- 2025-12-06 20:41:27·华中科大开发多功能MEMS谐振器，可实现双模传感和ppb级时钟
- 2025-11-26 20:05:04·MEMS开关厂商Menlo Micro取得重大里程碑式进展
- 2025-11-15 16:05:59·北理工在压电MEMS扬声器领域取得进展，优化电极和驱动方案以提升声压级
- 2025-11-13 14:03:24·压电MEMS风扇应用于英伟达的边缘AI超级计算机
- 2025-11-09 11:31:54·高透明无铅压电触觉器件，助力表面触感模拟应用
- 2025-10-29 09:00:24·新型AlScN多层压电薄膜，赋能压电MEMS执行器
- 2025-10-25 11:30:00·压电MEMS谐振式扫描镜，用于广角高频扫描
- 2025-10-16 11:02:09·基于超构表面的机械波操控新方法：革命性提升操控声音和振动的能力！
- 2025-10-14 09:13:36·压电MEMS微镜最新进展：Sc掺杂AlN带来性能提升
- 2025-10-13 11:14:33·综述：压电主动式空气冷却散热器件
- 2025-09-27 19:04:17·西安交大研发温度补偿MEMS谐振器，实现ppb级频率稳定性
- 2025-09-25 22:24:51·史上最小的片上马达：基于超构表面的光驱动微型马达
- 2025-09-21 10:23:02·SiTime推出全新MEMS谐振器，变革边缘AI和物联网时钟应用
- 2025-09-13 14:50:06·北理工在压电MEMS扬声器方面取得进展，提升声压级和总谐波失真性能
- 2025-09-06 22:44:53·面向入耳式应用的全频MEMS扬声器：高度微型化、高声压级
- 2025-09-05 15:39:34·MEMS风扇用于AI数据中心，实现光收发器的主动热管理
- 2025-08-30 21:37:00·PZT直接印刷于玻璃基底，实现表面触觉反馈执行器
- 2025-08-02 21:07:27·面向压电MEMS扬声器评估的优值系数（FOM）
经典文章回顾
- SiTime发布Epoch Platform，加速精确MEMS时钟行业变革
- 基于铪-氧化锆-氧化铝超晶格的宽频谱纳机电谐振器
- 太阳能驱动变形的折纸结构微型飞行器
- 使用3D打印MEMS实现柔性微系统中的微镜控制
- 欧空局推出硬币大小的MEMS火箭推进器
- Sheba推出革命性的MEMS自动对焦执行器，用于嵌入式视觉相机的主动无热化调焦
- SiTime推出业界首款车用MEMS片上时钟系统：Chorus汽车MEMS时钟发生器
- MEMS时钟领域的新兴搅局者Stathera
- xMEMS推出全硅“片上风扇”，为移动设备提供主动散热功能
- 全球首款用于TWS耳机的MEMS扬声器-麦克风解决方案SonicTwin发布