Inkron购入EVG新款纳米压印设备，AR/VR微光学元件量产提速
2020-10-10 07:40:25   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

据麦姆斯咨询报道，长濑集团（Nagase）旗下的硅烷光学纳米压印光刻（NIL）材料提供商Inkron近期对外宣布，对纳米压印材料和元件开发设备进行了战略投资。投资详情为Inkron从EVG公司购入自动化紫外纳米压印系统EVG 7200。该系统能够实现微米和纳米级结构的批量生产。Inkron表示，采用Smart NIL（智能纳米压印）技术的EVG 7200系统非常适合批量生产下一代光学器件，包括波导和衍射光学元件（DOE），这是增强现实（AR）和虚拟现实（VR）应用的核心元件。

EVG 7200纳米压印系统

Inkron表示，这项投资将有助于加快Inkron为增强现实（AR）眼镜、3D传感器和其它DOE关键元件所需的高性能光学材料的开发速度。此外，该项投资还将为其客户提供元件原型设计和小批量制造服务。

EVG技术开发和知识产权总监Markus Wimplinger表示：“为推动纳米压印技术的发展，我们成立了NILPhotonics Competence Center。EVG与纳米压印产业链的企业合作，如Inkron等，利用我们在纳米压印方面的专业知识加速新器件和新应用的开发。与Inkron合作，我们很荣幸有机会为他们开发先进光刻胶，这对下一代光学器件制造至关重要。”

除纳米压印设备，Inkron还购入了光学结构制造设备和测试设备（包括器件性能和可靠性测试），相关的设备投入还将继续进行。Inkron对外表示已经成立了一支专业团队，以支持Inkron纳米压印生态系统。该团队由Inkron副总裁JanneKylmä博士领导，材料科学家、光刻工艺工程师和光学专家等组成。

Inkron运营副总裁Jukka Perento作为该公司纳米压印业务的主导者，对此发表评论：“我们为能加快性能更优的创新光学树脂技术开发而感到兴奋。新型EVG 7200纳米压印系统在这一战略举措中起到了至关重要的作用。EVG 7200提升的工艺能力将帮助我们为客户解决关键性能路线图，助力客户取得成功。”Perento补充说：“我们的纳米压印高折射率材料、与之匹配的间隙填充镀膜，结合EVG的纳米压印系统，将为光学制造商提供关键的晶圆级解决方案，以实现其最新研发成果的量产。”

Inkron提供各种纳米压印加工材料和光学镀膜，波段涵盖从可见光到近红外光范围，折射率范围为1.1~2.0。

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