KLA-Tencor助力中国半导体产业发展
2014-11-10 20:54:04   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

11月7日，全球著名的微电子和半导体领域设备供应商KLA-Tencor公司在上海召开2014年中国新闻发布会。本次会议介绍了公司的基本运营情况、产业发展趋势、中国市场战略、最新产品组合以及其给客户的价值。2014财年KLA-Tencor公司营收将达29亿美元，全球雇员6200多人。同时，近年来公司也开始积极拓展MEMS、高亮度LED、功率器件和后端封装等新兴市场。

图1 KLA-Tencor公司首席营销官Brian Trafas介绍公司在产业链中的地位

随着物联网产业在全球兴起，MEMS传感器需要旺盛。KLA-Tencor公司也非常看好该市场，并积极布局。目前KLA-Tencor公司已有两类检测设备适用于MEMS领域（包括高深宽比的TSV检测）：台阶仪（Surface Profiling）和光学检测设备（Optical Inspection），它们可以帮助MEMS制造商发现缺陷、提升良率、降低成本。

KLA-Tencor先进的探针式台阶仪，可精确测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率,是目前商业化仪器里（经市场验证）最高精度的台阶仪产品。其中，Alpha-Step IQ采用天然金刚石作为探头，经久耐用。

此外，今年KLA-Tencor公司推出了四款新的系统——2920 系列、Puma™ 9850、Surfscan® SP5 和eDR™-7110——为16nm及以下的集成电路研发与生产提供更先进的缺陷检测与检查能力。2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统、Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统和 Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷检测系统可提供更高的灵敏度和巨大的产能增益。这些检测仪让芯片制造商能够发现和监测对成品率至关重要的缺陷，从而支持芯片制造商在前沿领先设计节点对复杂结构、新型材料和新的工艺进行整合。这三款检测仪均可与eDR-7110 电子束复查系统实现无缝连结，该系统利用更先进的自动缺陷分类功能迅速识别捕获的缺陷，为晶片制造厂商纠正措施提供精准资讯。

KLA-Tencor公司首席营销官Brian Trafas博士表示：“当我们的客户在16nm、14nm和更小设计节点整合众多独特技术时，他们面临着复杂的成品率与可靠性挑战。今年新推出的四款系统是我们检测与检查系列中的旗舰产品，融入了多种创新，有助于解决各种应用方面的缺陷率问题。我们的光学检测仪和电子束复查系统能够发现和识别关键纳米级缺陷，同时还能评估这些缺陷在同一晶圆、晶圆与晶圆之间和批次与批次之间的变化，从而实现更高产能。”

图2 KLA-Tencor公司首席营销官Brian Trafas和中国区总裁张智安回答记者提问

在最后的记者问答环节，Brian Trafas博士表示，KLA-Tencor公司一贯重视中国市场，1997年在中国成立首家公司，并在上海、北京、天津、苏州、无锡、武汉、大连设有办事处，着眼于重点客户的销售和高品质的售后服务与支持。KLA-Tencor公司在香港和深圳拥有ICOS部门，主要负责研发、生产和销售供半导体和太阳能领域各种应用的一系列缺陷检测系统。国内半导体制造厂商，如中芯国际、华虹宏力、华润上华和上海先进，大都选用了KLA-Tencor产品。

目前，国家集成电路产业投资基金（一期规模1200亿）获批，聚焦制造和设计两个核心环节，同时北京、安徽、天津等地相继出台了集成电路扶持意见。因此，中国集成电路产业将迎来重要发展机遇。因此，KLA-Tencor公司也将加大在中国的投入力度，全力支持中国半导体行业发展。张智安认为，中国半导体之路虽然曲折，但是前途光明。

另外张智安还认为，受前两年国内部分地方政府财政补贴引发企业投资热潮，而LED照明市场又因价格过高制约市场普及的影响，国内LED产业近两年深陷产能过剩困境。虽然现在中国LED产业目前虽面临产能过剩，但未来肯定会扭转过来。

关于KLA-Tencor：

KLA-Tencor公司是工艺控制与成品率管理解决方案的领先提供商，它与全球客户合作，开发先进的检测与计量技术。这些技术为半导体、发光二极管（LED）及其他相关纳米电子产业提供服务。公司拥有广泛的业界标准产品系列及世界一流的工程师与科学家团队，超过三十五年以来一直致力于为客户打造优秀的解决方案。KLA-Tencor 的总部设在美国加利福尼亚州米尔皮塔斯（Milpitas），并在全球各地设有专属的客户运营与服务中心。如需更多信息，请访问网站 http://www.kla-tencor.com。