- 2026-07-14 17:09:44·南理工研发创新的机械锁存型电热驱动MOEMS光开关
- 2026-07-12 10:19:07·集成压阻传感器的MEMS振镜，突破光声光谱气体检测的短板
- 2026-07-12 09:51:56·CMOS集成双轴MEMS扫描镜：采用闭环控制实现长期稳定的高性能
- 2026-07-08 22:41:46·MEMS开启开关技术领域的跨越式变革
- 2026-07-05 17:23:34·意法半导体：多个MEMS微镜的同步技术及应用
- 2026-07-05 16:36:19·准静态压电MEMS微镜扫描角优化方案：多环形驱动器与交叉电极布局
- 2026-07-04 16:50:48·谐振式压电MEMS微镜：兼具宽扫描角和大镜面，助力车载激光雷达应用
- 2026-07-01 14:53:43·英飞凌MEMS微镜助力基于激光束扫描的车载投影模组落地
- 2026-06-28 15:44:15·谐振式MEMS微镜的反相参数激励与快速启动特性研究
- 2026-06-28 15:12:19·用于可穿戴激光雷达的MEMS微镜
- 2026-06-27 11:26:51·基于MEMS的硅光阀，突破传统光调制器瓶颈
- 2026-06-27 08:48:55·高分辨率静电驱动MEMS可调谐滤波器，面向长波红外成像和传感应用
- 2026-06-25 11:21:53·Menlo推出业界首款宽带射频MEMS开关平台，面向新一代射频与光通信应用
- 2026-06-20 15:08:08·高扩展性硅光MEMS开关，采用机械-光学协同设计
- 2026-06-12 21:05:27·Cenfire推出新款硅基MEMS开关，面向半导体测试与测量应用
- 2026-05-23 11:28:35·清华大学提出MEMS扫描镜抗疲劳性能与寿命优化新方法
- 2026-05-16 14:07:16·SiTime新款MEMS温度补偿振荡器助力AI数据中心GPU优化
- 2026-05-10 08:59:52·全硅多点二维光束扫描MEMS微镜：MEMS-DOE架构同时实现激光分束和操控
- 2026-05-10 08:22:11·面向入耳式应用的高性能压电MEMS扬声器设计与制造
- 2026-05-08 17:07:42·可调谐MEMS-VCSEL的高对比度光栅优化
- 2026-02-15 10:36:19·天津理工在压电MEMS扬声器领域获进展，提高声压级和可靠性
- 2026-01-22 15:35:16·全球首个基于MEMS开关的继电器电源面板通过热切换验证
- 2026-01-14 14:35:03·SonicEdge授权调制超声波IP，加速MEMS扬声器市场发展
- 2025-12-23 11:36:34·综述：MEMS电磁执行器的最新设计与应用进展
- 2025-12-06 20:41:27·华中科大开发多功能MEMS谐振器，可实现双模传感和ppb级时钟
经典文章回顾
- SiTime发布Epoch Platform，加速精确MEMS时钟行业变革
- 基于铪-氧化锆-氧化铝超晶格的宽频谱纳机电谐振器
- 太阳能驱动变形的折纸结构微型飞行器
- 使用3D打印MEMS实现柔性微系统中的微镜控制
- 欧空局推出硬币大小的MEMS火箭推进器
- Sheba推出革命性的MEMS自动对焦执行器，用于嵌入式视觉相机的主动无热化调焦
- SiTime推出业界首款车用MEMS片上时钟系统：Chorus汽车MEMS时钟发生器
- MEMS时钟领域的新兴搅局者Stathera
- xMEMS推出全硅“片上风扇”，为移动设备提供主动散热功能
- 全球首款用于TWS耳机的MEMS扬声器-麦克风解决方案SonicTwin发布