- 2026-08-22 16:57:09·高性能MEMS电容式压力传感器：利用SiMiT工艺及结隔离环解决残余应力和漏电流问题
- 2026-08-15 16:19:11·基于硅-硅键合的MEMS谐振式差压传感器：高灵敏度、高稳定性
- 2026-08-15 16:12:43·用于高灵敏度硅基MEMS谐振式差压传感器的晶圆级薄膜真空封装工艺
- 2026-08-15 15:52:00·突破高性能MEMS谐振式差压传感器工艺局限：新型TGV晶圆级封装技术
- 2026-08-14 20:49:12·高精度MEMS压阻式压力传感器，用于电网SF6气体状态监测
- 2026-08-14 15:32:34·中科院空天院研发高精度全硅MEMS谐振式压力传感器，满足高精度和高可靠应用要求
- 2026-08-12 08:41:12·全光纤一体化差压传感器，实现毫米级精准液位测量
- 2026-08-08 14:23:03·东北大学开发多环形腔MEMS电容式压力传感器，实现灵敏度与线性度协同优化
- 2026-08-08 14:00:02·上海交大开发基于相变材料的高灵敏度MEMS压阻式压力传感器
- 2026-08-08 10:07:20·用于水深测量的光纤MEMS压力传感器，助力智能海洋监测与感知
- 2026-08-07 17:04:05·片上集成温度补偿的MEMS谐振式压力传感器，面向航空航天快速温变应用环境
- 2026-08-07 16:26:47·压力传感器与存储器单片集成系统，面向可穿戴生理传感应用
- 2026-08-07 15:46:57·西工大研发原位掺杂MEMS压阻式压力传感器，耐温高达500℃
- 2026-08-02 08:33:55·真空腔型电容式CMOS-MEMS压力传感器，助力动态压力和气流速度测量
- 2026-08-01 15:39:52·基于SOI的MEMS压力-温度集成传感器，面向油气勘探极端应用环境
- 2026-08-01 08:49:51·量程可调、高耐压MEMS压力传感器温度特性研究
- 2026-07-25 22:10:01·可植入MEMS电容式压力传感器，实现无线持续监测眼内压
- 2026-07-25 21:43:03·辽宁大学开发高精度MEMS谐振式压力传感器，用于实时气压监测
- 2026-07-04 20:54:56·面向触觉感知的全柔性大面积MEMS三轴力传感器
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- 2026-06-07 10:21:18·综述：面向高温极端环境感测的SiC压力传感器
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- 2026-05-02 16:47:20·高灵敏热式MEMS差压传感器：估算水下速度与偏航角、识别障碍物
