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苏州MEMS中试平台名列前茅,积极布局压电MEMS并筹建8寸线
2019-12-06 23:03:20   来源:麦姆斯咨询   评论:0   点击:

日前,苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司传出消息,其公司负责的MEMS中试量产平台(以下简称“平台”)目前运行良好,已服务客户60余家、产品180余颗,2019年预计出货超过20000片6寸MEMS晶圆,年出货量在全国MEMS代工线中名列前茅。

日前,苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司传出消息,其公司负责的MEMS中试量产平台(以下简称“平台”)目前运行良好,已服务客户60余家、产品180余颗,2019年预计出货超过20000片6寸MEMS晶圆,年出货量在全国MEMS代工线中名列前茅。

MEMS制造环节门槛高、技术含量高,是制约中国MEMS产业发展的瓶颈,也是从实验室到可销售产品的最核心的支撑环节。为构建“研发——中试——规模生产”完整的MEMS产业链链,加快MEMS企业创新和规模化成长过程,2013年,苏州纳米科技发展有限公司(苏州工业园区国资办下属国资公司,以下简称纳米公司)代表苏州工业园区管委会,策划筹建了苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司MEMS中试量产平台(英文名称:MEMS Right)。

该平台得到了工信部等各级政府支持,以支撑苏州工业园区及中国MEMS产业发展为主要使命,完全按照代工模式建立,服务于各类企业、科研院所、研发机构、创业团队,提供研发支持、代工服务,全开放、市场化运营,从根本上解决MEMS设计企业产品化的难题。

平台2014年首颗产品通线,2017年真正实现量产,经过多年的努力,形成了一支完整的高水平技术团队,积累了国内种类最多的MEMS产品量产经验,申请了60多项发明专利,已成为国内工艺种类最全、部分工艺能力最强的MEMS代工线。另外,平台已与日本爱发科签署战略合作协议,共同开发下一代MEMS关键技术——PZT压电薄膜MEMS传感器,明年年初将成为国内首个可量产PZT MEMS器件的产线,为国内企业抢抓下一代MEMS产品先机提供了坚实的基础。在此基础上,平台正计划建设8英寸线,更好地支撑国内MEMS产业发展。

延伸阅读:

《压电器件:从块体型到薄膜型-2019版》

《MEMS产业现状-2019版》

《压电器件对比分析:从块体型到薄膜型》

《半导体应用的纳米压印技术趋势-2019版》

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