Tanner MEMS设计流程
2018-04-30 20:11:31   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

作为MEMS设计流程的核心部分，本文展示了利用Tanner L-Edit MEMS从几种易于绘制的形状中为MEMS设计曲面形状。

MEMS设计工具的领导者

在如今MEMS设计领域中，集成比以往任何时候都更重要。为了应对高效率、高生产率的市场竞争，您需要一款已经证明有能力加速商业化项目设计周期的工具集。Tanner MEMS设计流程不仅将MEMS器件与模拟/混合信号处理电路的集成变得简单，同时也提供了改进MEMS器件可制造性所需的工具。因此，这种领先的MEMS与模拟/混合信号IC设计工具能使您以最少的培训开始工作，缩短设计周期。

Tanner L-Edit MEMS是设计流程的核心部分，具有MEMS支持功能（例如：曲面多边形和全角布尔运算）的高级版图编辑器。与机械工程设计所使用的其他CAD工具相比，L-Edit MEMS可显示掩膜上的明场和暗场。因此，您可以快速地绘制和编辑掩膜，并轻松查看掩膜的不同组合来检查它们的重叠与交互。利用曲线编辑、交互式设计规则检查（DRC）、布尔运算、对象捕捉与对齐等强大功能，您可以更有效率地工作，以节约时间与成本。L-Edit MEMS可以通过执行复杂的布尔运算和派生层操作任意多边形的形状和曲率，来提高精度。可对组对象执行“和（AND）”、“或（OR）”、“异或（XOR）”、“减（Subtract）”、“扩展（Grow）”和“缩减（Shrink）”。这使您可以从几个易于绘制的对象中快速创建用于MEMS的整个复杂曲面形状。

先进的设计规则检查

Tanner L-Edit MEMS Plus具有先进的设计规则检查功能，帮助您轻松查找设计缺陷并提高良率。任何工艺都可以使用该工具的图形界面轻松地设置规则。由于大多数MEMS工艺都是非常特殊的或专有的，因此这点很重要。L-Edit MEMS Plus通过先进的验证错误导航器可缩短验证时间，能够立即为您发现版图编辑器中的违规位置，并提供一个清晰而全面的设计规则检查（DRC）结果总结报告。

MEMS 3D建模

3D Solid Modeler插件允许您从选定的版图区域和制造工艺描述中创建MEMS器件的3D模型。易于使用的技术管理器允许输入制造工艺步骤和顺序以及材料属性。支持平面和体微加工工艺步骤，如材料沉积、刻蚀、机械抛光、扩散、生长、电镀和晶圆处理步骤。可以对3D模型进行缩放，并选择掩膜层的子集来查看。3D模型可以通过旋转、缩放、预置视图和制造顺序分步显示进行查看，也可以用动画模型来显示工艺流程的步骤。

Cross Section Viewer根据用户指定的切割线显示z坐标剖面图。边界条件可以在掩膜版图上定义，并且可以自动地将2D或3D模型转换成常用的格式（如SAT、APDL和IGES），以方便第三方工具分析或查看项目。模型可能会被“去特征”以实现高效的FEM网格划分。MEMS特定的网格划分器可为分析创建高效的网格。

EasyMEMS工具有助于自动完成将那些耗费时间的掩膜版图创建工作，例如创建环形阵列。有用的宏指令包括产生孔和凹槽以恰当地释放MEMS结构。通过图形库浏览器提供可扩展的MEMS器件版图库。器件库与用户指定或代工厂的设计规则相关联，以确保可制造性。该库包括热学、机械、光学、流体和静电器件。

MEMS系统级仿真

您可以使用MEMS升级工具套件MEMS Pro来运行IC和MEMS的系统级闭环仿真。MEMS器件作为行为模型在SPICE中完成仿真。非电域通过映射到电域进行仿真处理。MEMS Pro包含一个可组合的MEMS模型库，该库由工艺参数、材料属性和器件尺寸实现参数化。

MEMS Modeler使用有限元分析程序中的3D数据自动生成行为模型，为电子和封装提供系统级仿真。涉及大量自由度的复杂有限元模型被简化为具有少量主自由度的行为模型。用户还可以根据分析方程式创建自己的模型，并且该工具能以各种常用格式生成仿真就绪描述。MEMS Modeler促进了3D和系统仿真之间的桥梁，使设计团队能够协同工作。

特点及优势：
■ 统一环境下完整的3D MEMS和IC设计解决方案
■ 25年的MEMS设计工具经验
■ 从版图生成MEMS 3D模型
■ 高度可编程的具有MEMS支持功能的版图编辑器，如曲面多边形
■ 参数化版图生成器有助于创建复杂的MEMS结构
■ 完整的图层和可视化的几何图形设计
■ 利用对齐工具栏或排版（L Comp）组合库轻松创建、放置和对齐MEMS结构
■ MEMS可制造性的设计规则检查（DRC）
■ 支持边界重建的DXF导入和导出
■ SoftMEMS工具升级选项：

–先进的3D分析工具：机械、热、声、电、静电、磁性和流体的分析
–系统级仿真，包含IC设计和MEMS器件协同仿真
–根据3D分析结果，自动生成MEMS器件行为模型

■ 在Windows或Linux操作系统平台上独立运行
■ 操作直观易学
■ 优质的客户支持服务
■ 授权许可灵活

推荐培训课程：

为了更好地帮助IC和MEMS技术人员熟悉和使用Tanner系列EDA软件，包括L-Edit、SoftMEMS、S-Edit、SDL Router等模块，Mentor将在麦姆斯咨询5月25日至5月27日举办的『“见微知著”MEMS封装和测试培训课程』中增加“MEMS设计工具Tanner软件及应用”课程，并分享MEMS设计公司和代工厂的使用案例及经验，时间为5月24日下午。

欢迎广大IC和MEMS朋友联系麦姆斯咨询，我们会竭诚为您服务，帮您利用先进的EDA软件加速芯片设计，早日达到产品量产的彼岸。

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