Menlo Micro推出MEMS射频开关，性能达到传统开关的10倍
2017-03-02 20:58:23 来源：麦姆斯咨询 评论：0 点击：
据麦姆斯咨询报道，从GE独立出来仅几个月的MEMS初创企业Menlo Micro，已经通过了其晶圆级数字微开关（Digital Micro Switch, DMS）技术平台的生产验证。
据麦姆斯咨询报道，从GE独立出来仅几个月的MEMS初创企业Menlo Micro，已经通过了其晶圆级数字微开关（Digital Micro Switch, DMS）技术平台的生产验证。
Menlo Micro致力于为功率和RF（射频）应用制造微机械开关，并验证了其低于50fs的产业领先的RonCoff性能。在未来12～18个月内，Menlo Micro预计将出样RonCoff性能低于10fs的开关器件，这样的性能已经达到了传统开关的10倍。
除了重要的品质因数RonCoff，Menlo Micro还验证了其高于+90dBm的线性性能，这比最先进的传统开关的性能还要高15～20dB。该公司目前开发的开关在12GHz的插入损耗低于0.3dB，带宽覆盖直流DC至18GHz，并能扩展至更高的频率范围，包括毫米波。
利用从GE（通用电气）排他许可获得的专利材料、设计和晶圆级工艺技术，Menlo Micro的DMS技术具有值得信赖的可靠性，而且它不仅能处理kW级的功率，还能向下缩减尺寸和成本，使其能与绝缘体上硅（SOI）相比具有成本竞争优势。
其开关采用专利的合金材料溅镀在玻璃晶圆上制得，该玻璃晶圆利用了供应商兼投资商康宁公司（Corning Incorporated）的玻璃通孔技术（through glass vias, TGV）。Menlo和Corning正合作为应用TGV技术的高性能半导体玻璃晶圆打造供应链，扩大制造规模。Menlo同时也积极地和多家技术合作伙伴一起致力于将DMS技术许可至消费类移动手持设备市场。
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