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为制造高性能压电MEMS器件,SilTerra部署Evatec薄膜沉积设备
2020-07-09 09:22:02   来源:麦姆斯咨询   评论:0   点击:

据麦姆斯咨询报道,总部位于马来西亚的MEMS和CMOS代工厂SilTerra近日宣布,他们在其MEMS专用设备库中添加了Evatec薄膜沉积设备:CLUSTERLINE 200 II,以开发和生产高性能压电MEMS器件。

据麦姆斯咨询报道,总部位于马来西亚的MEMS和CMOS代工厂SilTerra近日宣布,他们在其MEMS专用设备库中添加了Evatec薄膜沉积设备:CLUSTERLINE 200 II,以开发和生产高性能压电MEMS器件。

Evatec薄膜沉积设备:CLUSTERLINE 200 II

Evatec薄膜沉积设备:CLUSTERLINE 200 II

SilTerra表示,他们与Evatec的合作伙伴关系可以追溯到2017年,双方合作使得SilTerra能够成功展示其MEMS-on-CMOS技术平台的单芯片集成器件的性能。

据麦姆斯咨询了解,Evatec设备自2020年5月起已在SilTerra的MEMS代工厂中投入使用,主要用于MEMS器件的压电薄膜沉积。这些器件包括SilTerra的压电微机械超声波换能器(PMUT)、声表面波(SAW)谐振器、体声波(BAW)谐振器和压电声学传感器。

SilTerra利用Evatec薄膜沉积设备制造出的压电MEMS器件

SilTerra利用Evatec薄膜沉积设备制造出的压电MEMS器件

“我们正在使用纯氮化铝(AlN)和掺钪氮化铝(ScAlN)薄膜为客户提升压电MEMS制造能力。Evatec设备使我们能够很好地控制8英寸晶圆上的薄膜应力、化学用量及均匀性,这对于高性能压电MEMS器件的原型设计和生产至关重要!”SilTerra的MEMS和传感器业务部门高级副总裁Arjun Kumar Kantimahanti说道。

“我们非常高兴成为SilTerra的薄膜沉积技术合作伙伴。我们期待在关键制造工艺方面为SilTerra提供支持,以提高压电MEMS器件性能。”Evatec半导体业务部主管Silvan Wuethrich说道。

SilTerra压电MEMS器件已包含在其MEMS-on-CMOS技术平台之中。MEMS-on-CMOS平台使得MEMS设计人员能够设计具有成本效益的单芯片解决方案,满足频率控制、数据通信,以及医疗、工业和消费电子中的各种传感应用。MEMS-on-CMOS平台是支持SilTerra迈向“超越摩尔”技术的关键要素。

通过将其核心CMOS工艺扩展到MEMS、硅光子、BCD、功率和氮化镓(GaN)等先进的“超越摩尔”技术,SilTerra已将自己定位为全球领先的MEMS和CMOS代工厂之一。在咨询公司IC Insights发布的全球纯晶圆代工厂排名中,SilTerra位列第17位,其设计产能为每月46000片8英寸晶圆,并且能够支持特征尺寸小至90nm的工艺技术。

Evatec专注于研发用于先进封装、功率器件、MEMS、光电子、无线通信等领域的薄膜沉积设备。Evatec是全球压电MEMS代工厂的关键设备供应商,这些代工厂往往都需要包括AlN及AlScN薄膜沉积工艺的设备及平台。 

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