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“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”项目获国家科技进步二等奖
2020-01-13 22:56:20   来源:麦姆斯咨询   评论:0   点击:

据麦姆斯咨询介绍,该项目由东南大学、江苏英特神斯科技有限公司、华润上华三家单位合作完成。项目成果针对中国微机电系统(MEMS)产业链关键技术问题,系统研究开发了MEMS设计技术与设计工具、制造工艺和在线检测以及高性能压力传感器技术。

2020年1月10日,国家科学技术奖励大会在北京举行,华润微电子有限公司旗下无锡华润上华科技有限公司(简称“华润上华”)参与的“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”项目获国家科学技术进步奖二等奖。

“高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用”项目获国家科技进步二等奖

据麦姆斯咨询介绍,该项目由东南大学、江苏英特神斯科技有限公司、华润上华三家单位合作完成。项目成果针对中国微机电系统(MEMS)产业链关键技术问题,系统研究开发了MEMS设计技术与设计工具、制造工艺和在线检测以及高性能压力传感器技术,推动了中国MEMS技术的产业化发展。

该项目成果形成了高精度硅各向异性腐蚀模拟、厚胶光刻工艺模拟、工艺流程模拟等11个软件模块,实现了商业化,国内用户40余个,远销美国、日本等。关键技术已应用于华润上华规模化MEMS生产线,形成批量生产能力并为国内外用户代工超过10万片,支撑了MEMS压力传感器系列、MEMS麦克风系列等产品生产,目前这些产品已在智能电子、工业控制、环境监测等领域广泛应用。

在该项目中,华润上华具体开发了MEMS表面微机械加工、体硅微加工、晶圆键合等成套制造工艺技术及检测技术,优化了制造工艺及流程,实施了MEMS生产制造工艺、在线检测技术以及代工服务。硅基MEMS制造工艺模拟及工艺优化技术大大减少了工艺条件和参数的反复试验,降低了工艺开发成本并优化了工艺条件及其流程,缩短了制造工艺开发周期。

“MEMS有极强的应用渗透力,但是中国的MEMS产业化发展较慢,设计与制造核心技术被国外垄断。”华润上华副总经理苏巍表示,“我们乐见公司在MEMS领域耕耘多年的成果,也非常乐于继续携手产业链伙伴为实现MEMS的国产化而努力。目前,华润上华MEMS工艺技术正依计划由成熟的6英寸向8英寸转移,期待能为更多IC设计公司提供MEMS产品服务。”

延伸阅读:

《MEMS产业现状-2019版》

《MEMS麦克风、微型扬声器和音频解决方案-2019版》

《USound Achelous MEMS扬声器:UT-P 2016》

《Vesper压电式MEMS麦克风:VM1000》

《苹果iPhone X中的MEMS麦克风》

《MEMS压力传感器对比分析-2018版》

《MEMS压力传感器市场和技术-2018版》

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