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MEMSound(大响科技)推出全球首款压电MEMS水听器
2017-01-18 07:14:53   来源:麦姆斯咨询   评论:0   点击:

MEMSound依托顶尖的8英寸压电氮化铝(AlN)平台,经过5年的持续投入,开发了全球首个压电MEMS声压梯度式水听器。下图分别为高晶向一致性氮化铝薄膜,加工的水听器芯片和封装的MEMS水听器工程样品。

水听器即水下麦克风,是把水下声信号转换为电信号的换能器。目前商用的水听器以基于压电陶瓷与光纤的解决方案为主。由于受制于加工技术,制造成本较高,一致性较差;此外,光纤水听器虽然精度较高,但系统包括激光源,干涉腔,光电探头等多个部分,复杂昂贵,功耗高,适用于小规模/高精度的应用。

MEMSound依托顶尖的8英寸压电氮化铝(AlN)平台,经过5年的持续投入,开发了全球首个压电MEMS声压梯度式水听器。下图分别为高晶向一致性氮化铝薄膜,加工的水听器芯片和封装的MEMS水听器工程样品。

氮化铝薄膜

氮化铝薄膜

加工的水听器芯片

加工的水听器芯片

封装的MEMS水听器工程样品

封装的MEMS水听器工程样品

借助半导体批加工技术,MEMSound基于氮化铝制造平台的MEMS水听器的成本相比压电陶瓷和光纤水听器显著降低,同时成品率与一致性大幅提高,这些都使MEMS水听器拥有极高的性价比,对于海洋勘探,航道监测,管网监测,水下导航等大规模民用领域具有重要意义。此外,借助半导体制造技术的优势,MEMS水听器在尺寸与重量方面也更具竞争力。

MEMSound的压电MEMS水听器采用氮化铝作为敏感材料,与基于PZT的传统压电陶瓷水听器相比,虽然氮化铝的压电系数较小,但介电常数更小;而被动式压电器件的关键评价参数(FOM)是压电系数与介电常数的比值。MEMSound公司开发的压电氮化铝MEMS水听器的FOM比同类PZT产品大4倍,意味着相同条件下MEMS水听器的灵敏度高12dB,这将使终端客户可以探测更远距离,更微弱声信号。

对于传统压电陶瓷与光纤水听器,一个主要问题是他们不仅对声音敏感,同时也对振动,温度等信号敏感而造成信号干扰,需要复杂的隔离装置来屏蔽。MEMSound的MEMS水听器采用新颖的温度补偿技术与芯片级振动信号隔离设计,可以成功的屏蔽干扰信号,比现有产品改进约20dB。

MEMSound的MEMS水听器也具有优异的技术指标,如大带宽(3Hz~600kHz可定制),大动态范围(120dB~140dB)及全动态范围低于0.1%的非线性度,这些都和最优秀的光纤水听器处于相同量级。此外,小于10mW的功耗与66dB的噪声分辨率也极具竞争力。

MEMSound计划于2017年第1季度开始提供MEMS水听器样品,第4季度量产。

关于MEMSound(大响科技):大响科技是一家专注于基于氮化铝的压电声学MEMS传感器初创公司,主要产品包括MEMS水听器,超声传感器及相关系统等。

如果希望进一步了解或投资MEMSound(大响科技),欢迎发邮件至WangYi@MEMSConsulting.com

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