励德微系统推出MEMS微振镜演示板
2016-03-19 11:01:16   来源：麦姆斯咨询 王懿   评论：0   点击：

近日，西安励德微系统科技有限公司（以下简称：励德微系统）推出一款MEMS微振镜基础演示板。该演示板用于控制MEMS振镜输入电压及驱动频率、演示MEMS振镜工作状态、评估MEMS扫描镜性能。在单路输出的情况下可实现一维扫描，在两路同时输出的情况下可实现二维扫描，即李萨如图扫描。

MEMS微振镜演示板

MEMS微振镜演示板特点：

- 定频

- 单路或双路工作

- 频率可调

- 电压可调

1、硬件说明

2、工作状态图像（实物为红色激光）

若快、慢轴中任一轴工作时， MEMS扫描镜可扫描出一条直线。其中，快轴与慢轴扫出来的直线互相垂直。

若快、慢轴同时工作时， MEMS扫描镜可以扫描出一个平面，其扫描轨迹为李萨如图形。

3、核心器件：MEMS微振镜

励德微系统的MEMS微振镜由单晶硅加工而成，具有可靠性高、体积小、重量轻等特点。微振镜具有镜面、固定框架、驱动梳齿、扭转梁等结构，并且在镜面上镀有金属膜以增加反射率，镜面本身由扭转梁支撑。MEMS微振镜工作在其谐振状态，具有极高的稳定性。

MEMS微振镜

如果您希望购买MEMS微振镜演示板，请联系王懿：wangyi@memsconsulting.com

关于励德微系统

工业自动化和生活智能化的核心是智能传感器，而MEMS技术则是智能传感器的重要使能技术。励德微系统核心团队由一群MEMS领域的青年才俊组成，他们有毕业于MEMS领域顶尖实验室的博士，有在MEMS产业界积累了多年产品开发经验的技术专家，有具有敏锐市场洞察力的行业精英，在成为“中国微系统技术领导者”的企业愿景引领下，团队成员优势互补，自强不息，以微传感器和微执行器细分市场为主要服务对象，以“感知世界，改变世界”为核心使命，努力成为一个为客户、股东和员工负责，为社会负责的优质企业。

励德微系统拥有先进的MEMS工艺实验室，具备清洗，光刻，PVD，DRIE，激光隐形划片，引线键合和真空平行封焊等一流的工艺设备和对应的测试能力，能够独立快速完成MEMS产品研制的原型开发、小批量生产和验证工作。同时，公司与国内、外一流的MEMS工厂建立了合作关系，保证了MEMS产品的量产能力和量产品质。