应用于NDIR气体测量的MEMS红外光源
2016-02-19 14:38:58   来源：麦姆斯咨询 王懿   评论：0   点击：

Powerful MEMS-based Infrared Emitter for NDIR Gas Measurement

德国Micro-Hybrid电子有限公司的JSIR350系列产品是基于MEMS技术的红外光源。该红外光源的高辐射强度使其能在低驱动电流的情况下实现很高的发光强度。因此，它们非常适合于非色散红外（NDIR）气体分析，尤其是搭配Micro-Hybrid热释电或热电堆探测器使用。

结构

Micro-Hybrid红外光源中的MEMS芯片红外辐射区域由纳米非晶碳（NAC）薄膜构成，该薄膜工艺通过磁控溅射完成。MEMS芯片衬底由硅基芯片构成，其背面采用刻蚀工艺形成膜。红外光源由氮化硅保护层覆盖，以防止外界环境影响有源元件。该MEMS芯片在美国生产。

所有Micro-Hybrid红外光源设计和规定的工作温度可达850℃。通过在光源封装方面的改进，Micro-Hybrid能够提供市场上性能最好的红外光源。

气密封装

Micro-Hybrid技术改进可为所有红外元件提供气密封装。相比普通键合技术，焊料封接元件是不透水（水蒸气）。该气密封装可以提供恶劣环境下（如高温、高湿和局部高压）的新应用。总之，这项新技术可产生长期稳定的红外元件，满足气体传感器、气体监测、气体分析和火焰检测的应用需求。

使用特殊的惰性保护气体可以改变电输入功率、辐射输出和时间常数。光学滤波器可根据相关应用进行定制，包括尺寸大小和涂层。薄膜温度可根据电输入进行调整。该创新意味着在NDIR气体分析领域拥有巨大的提高潜力。

优点

- 高薄膜温度（High membrane temperature）
    * 高辐射强度输出

- 优良的辐射率（Good emissivity）
    * 在宽波长范围内拥有优良的辐射输出

- 长寿命 > 100000小时（Long lifetime > 100,000 h）
    * 可靠的工艺和较低的成本

- 标准工业外壳（Standard industrial housing）
    * 易于部署到各种应用中

- 全自动化生产（Full automatic production）
    * 具有成本效益的产品和较短的交货时间

- 可以填充不同种类气体（Possibility to backfill with different gases）
    * 参数优化及更长使用寿命

JSIR350-4

下图显示了JSIR350-4的红外光谱、频率响应和薄膜温度曲线。

JSIR350-5

下图显示了JSIR350-5（最小的MEMS红外光源）的红外光谱、频率响应和薄膜温度曲线。

公司介绍

德国Micro-Hybrid电子有限公司是一家提供微系统技术和红外元件的高科技公司。Micro-Hybrid开发定制化的微电子和红外系统。Micro-Hybrid是全球红外传感器的领先者。

Micro-Hybrid为医疗、环保和航空的全球核心市场设计先进的混合应用和LTCC技术。Micro-Hybrid是Micro-Epsilon集团的一部分。

联系方式

电子邮箱（Email）：Lisa.wen@winwintec.com

电话（Mobile）：+86 185 6176 3711