五十五所MEMS风速传感器打破国外垄断进入市场
2016-01-23 17:47:27   来源：微迷   评论：0   点击：

近日，《中国电子报》评选出了2016年最具市场潜力十大半导体技术，新型传感器位列第一，这表明传感器将是未来创新的重点。实际上传感器已经与我们当下的生活息息相关：运动传感器能感知加速度、重力等，化学的传感器可以测PM2.5和农药残留。随着物联网、智能硬件的普及，传感器领域的发展潜力将无比巨大。

在这样广阔的市场前景下，诸多传感器产品却是由国外厂家长期垄断，每套系统不仅要价高昂，而且使用过程中，哪怕只需更换一个零部件，也得把整套系统打包卖给你。

近日，由五十五所自主研制的MEMS风速传感器突破工艺瓶颈，经过客户长达半年的对比测试和装机试验，产品在一致性、灵敏度、稳定性、可靠性等方面均满足客户使用指标，迎来首次订货，双方明确了2016年的订货需求，产品市场前景良好，未来3年约有数万只/年的市场规模。这一成果推动了风速传感器研发市场化目标的实现，改写了应用于工业过程控制领域的历史，也打破了国外长期以来对高精度风速测量领域的垄断，使其以系统形式捆绑销售的营销模式失去制约力。

MEMS风速传感器主要应用于工业过程控制领域，通过精准测量风速实现对工业排气系统、洁净空气传送系统、风道及环境模拟设备、空气层流等过程控制。在产品开发过程中，科研人员通过大量的数据统计和试验验证，借助增加特殊修调图形的光刻板、湿法腐蚀工艺等半导体技术手段解决了传感器一致性较差的关键难题。针对耐酸、碱、氧化的可靠性要求和测试过程中出现的灵敏度参差不齐的情况，优化工艺流程，经过多轮试验对比，确定了最佳的工艺参数，提高传感器性能指标。通过与某型风速传感器长期的对标测试,自主研制的风速传感器耐酸、碱、氧化能力、温度系数等各项指标均优异，并且经过MEMS风速传感器小批量试产，形成了固化的MEMS风速传感器工艺流程，圆片成品率较大提升，为今后MEMS风速传感器的大批量生产奠定了基础。

从受制于人，到不再受制于人，再到未来领先于人，这样的突破背后是五十五所在MEMS传感器领域不懈追求的跃动之心，是一簇簇永不停歇的自主创新，更是一朵朵不断绽放的梦想之花。不论是缩小差距还是打破垄断，都能第一时间切实直观地感受到成本的跳崖式降低，更重要的是，抬头挺胸扬眉吐气的快感。随着“中国创造”的快速崛起，这样的“替代”甚至“取代”也会不断上演。