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MSA6000系列微加速度计-美泰微系统
2012-08-23 13:26:20 来源：美泰微系统评论：0 点击：

MSA6000系列微加速度计是一款新型的超小体积的高精度惯性加速度传感器。该产品采用单片式电容检测电路，偏零、标度因数和带宽出厂设定，产品采用5V单电源供电，模拟电压输出；并可实现传感器自检测功能，具有体积小、精度高等优点。

MSA6000系列微加速度计

♦ MEMS硅电容式原理

♦ LCC20标准封装

♦ ±2g～±200g量程

♦ 集成信号调理

♦ 适应强冲击环境

♦ 自检测校准功能

♦ 气密封装，高可靠性

产品说明

MSA6000系列微加速度计是一款新型的超小体积的高精度惯性加速度传感器。该产品采用单片式电容检测电路，偏零、标度因数和带宽出厂设定，产品采用5V单电源供电，模拟电压输出；并可实现传感器自检测功能，具有体积小、精度高等优点。采用气密封装，可在低电压环境中保证正常输出，内部设计过量程止档结构，能够承受高冲击和大加速度载荷的作用。

典型应用

惯性测量：惯性制导、平台稳定、过载测量、组合导航

倾斜测量：天线测姿、平台测量

振动测量：机械设备、桥梁大坝、安全测试

外观

MSA6000系列微加速度计外观

结构尺寸

MSA6000系列微加速度计结构尺寸

主要技术指标

测试条件（除非另有说明）：+25℃，+5Vdc。保留对产品手册进行修改且不另行通知的权利。

性能参数	单位	MSA6000 -02	MSA6000 -10	MSA6000 -15	MSA6000 -30	MSA6000 -50	MSA6000 -100	MSA6000 -150	MSA6000 -200
量程	g	±2	±10	±15	±30	±50	±100	±150	±200
偏值	V	2.5±0.2	2.5±0.2	2.5±0.2	2.5±0.2	2.5±0.2	2.5±0.2	2.5±0.2	2.5±0.2
偏值稳定性	mg	≤0.25	≤0.5	≤0.5	≤2	≤3	≤7.5	≤10	≤15
偏值重复性	mg	≤0.25	≤0.5	≤0.5	≤2	≤3	≤7.5	≤10	≤15
偏值温度系数	mg/℃	≤0.3	≤0.5	≤0.8	≤1.5	≤2.5	≤4.0	≤5.0	≤7.5
标度因数	mV/g	1000±10	200±5	133±5	66.6±2	40±1	20±1	13.3±1	10±1
标度因数稳定性	ppm(典型) ppm（最大）	300 500	300 500	300 500	300 500	300 1000	300 1000	300 1000	300 1000
标度因数重复性	ppm(典型) ppm（最大）	300 500	300 500	300 500	300 500	300 1000	300 1000	300 1000	300 1000
标度因数温度系数	ppm/℃(典型) ppm/℃（最大）	100 150	100 150	100 150	150 200	150 200	200 300	200 300	200 300
分辨率 @500Hz	mg	0.1	0.3	0.5	1.0	2.5	5.0	7.5	10
噪声	μV/sqr(Hz)	10	10	10	10	10	10	10	10
带宽（-3dB）	Hz（典型值） Hz（可调节）	500 0-2000	500 0-2000	500 0-2000	500 0-2000	500 0-2000	500 0-2000	500 0-2000	500 0-2000
交叉耦合	Mrad %	＜10 ＜1	＜10 ＜1	＜10 ＜1	＜10 ＜1	＜10 ＜1	＜10 ＜1	＜10 ＜1	＜10 ＜1
非线性	% of FSmax	≤±0.1	≤±0.3	≤±0.3	≤±0.3	≤±0.3	≤±0.3	≤±0.3	≤±0.3
谐振频率	kHz	1.3	2.7	3.8	4.5	5.8	8.1	10.1	11.4

外形结构

外形结构	单位
外形尺寸	mm³	9.0×9.0×2.6
封装		陶瓷封装（LCC20）

环境适应性

环境适应性	单位
工作温度	℃	-40~85
贮存温度	℃	-55~125
抗冲击（8ms,半正弦）	g	20000

备注

1. 温度系数指在-40℃~60℃范围内，在此范围内输出表现典型值呈线性；

2. 传感器安装时应尽量固定牢固，避免松动引入测量误差。安装时避免壳体受到外力挤压，损害传感器内部结构；

3. 自检测功能用于检测传感器是否能正常工作。传感器自检模态时，SST接口接高电平（不低于4V），此时传感器的输出电压较正常工作时输出有明显变化；在传感器正常工作模态时，建议SST端口接地。

联系人

河北美泰电子科技有限公司

Hebei MT Microsystems Co., Ltd.

吝海锋

电话：(0311) 87091549

传真：(0311) 80701441

手机：18931848869

E-mail：memslin@139.com

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