MSA6000系列微加速度计-美泰微系统
2012-08-23 13:26:20 来源：美泰微系统 评论：0 点击：
MSA6000系列微加速度计是一款新型的超小体积的高精度惯性加速度传感器。该产品采用单片式电容检测电路，偏零、标度因数和带宽出厂设定，产品采用5V单电源供电，模拟电压输出；并可实现传感器自检测功能，具有体积小、精度高等优点。
♦ MEMS硅电容式原理
♦ LCC20标准封装
♦ ±2g～±200g量程
♦ 集成信号调理
♦ 适应强冲击环境
♦ 自检测校准功能
♦ 气密封装，高可靠性
产品说明
MSA6000系列微加速度计是一款新型的超小体积的高精度惯性加速度传感器。该产品采用单片式电容检测电路，偏零、标度因数和带宽出厂设定，产品采用5V单电源供电，模拟电压输出；并可实现传感器自检测功能，具有体积小、精度高等优点。采用气密封装，可在低电压环境中保证正常输出，内部设计过量程止档结构，能够承受高冲击和大加速度载荷的作用。
典型应用
惯性测量：惯性制导、平台稳定、过载测量、组合导航
倾斜测量：天线测姿、平台测量
振动测量：机械设备、桥梁大坝、安全测试
外观
结构尺寸
主要技术指标
测试条件（除非另有说明）：+25℃，+5Vdc。保留对产品手册进行修改且不另行通知的权利。
| 性能参数 | 单位 | MSA6000 -02 |
MSA6000 -10 |
MSA6000 -15 |
MSA6000 -30 |
MSA6000 -50 |
MSA6000 -100 |
MSA6000 -150 |
MSA6000 -200 |
| 量程 | g | ±2 | ±10 | ±15 | ±30 | ±50 | ±100 | ±150 | ±200 |
| 偏值 | V | 2.5±0.2 | 2.5±0.2 | 2.5±0.2 | 2.5±0.2 | 2.5±0.2 | 2.5±0.2 | 2.5±0.2 | 2.5±0.2 |
| 偏值稳定性 | mg | ≤0.25 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤2 | ≤3 | ≤7.5 | ≤10 | ≤15 |
| 偏值重复性 | mg | ≤0.25 | ≤0.5 | ≤0.5 | ≤2 | ≤3 | ≤7.5 | ≤10 | ≤15 |
| 偏值温度系数 | mg/℃ | ≤0.3 | ≤0.5 | ≤0.8 | ≤1.5 | ≤2.5 | ≤4.0 | ≤5.0 | ≤7.5 |
| 标度因数 | mV/g | 1000±10 | 200±5 | 133±5 | 66.6±2 | 40±1 | 20±1 | 13.3±1 | 10±1 |
| 标度因数 稳定性 |
ppm(典型) ppm（最大） |
300 500 |
300 500 |
300 500 |
300 500 |
300 1000 |
300 1000 |
300 1000 |
300 1000 |
| 标度因数 重复性 |
ppm(典型) ppm（最大） |
300 500 |
300 500 |
300 500 |
300 500 |
300 1000 |
300 1000 |
300 1000 |
300 1000 |
| 标度因数 温度系数 |
ppm/℃(典型) ppm/℃（最大） |
100 150 |
100 150 |
100 150 |
150 200 |
150 200 |
200 300 |
200 300 |
200 300 |
| 分辨率 @500Hz |
mg | 0.1 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 7.5 | 10 |
| 噪声 | μV/sqr(Hz) | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 带宽 （-3dB） |
Hz（典型值） Hz（可调节） |
500 0-2000 |
500 0-2000 |
500 0-2000 |
500 0-2000 |
500 0-2000 |
500 0-2000 |
500 0-2000 |
500 0-2000 |
| 交叉耦合 | Mrad % |
＜10 ＜1 |
＜10 ＜1 |
＜10 ＜1 |
＜10 ＜1 |
＜10 ＜1 |
＜10 ＜1 |
＜10 ＜1 |
＜10 ＜1 |
| 非线性 | % of FSmax | ≤±0.1 | ≤±0.3 | ≤±0.3 | ≤±0.3 | ≤±0.3 | ≤±0.3 | ≤±0.3 | ≤±0.3 |
| 谐振频率 | kHz | 1.3 | 2.7 | 3.8 | 4.5 | 5.8 | 8.1 | 10.1 | 11.4 |
外形结构
| 外形结构 | 单位 | |
| 外形尺寸 | mm3 | 9.0×9.0×2.6 |
| 封装 | 陶瓷封装（LCC20） |
环境适应性
| 环境适应性 | 单位 | |
| 工作温度 | ℃ | -40~85 |
| 贮存温度 | ℃ | -55~125 |
| 抗冲击（8ms,半正弦） | g | 20000 |
备注
1. 温度系数指在-40℃~60℃范围内，在此范围内输出表现典型值呈线性；
2. 传感器安装时应尽量固定牢固，避免松动引入测量误差。安装时避免壳体受到外力挤压，损害传感器内部结构；
3. 自检测功能用于检测传感器是否能正常工作。传感器自检模态时，SST接口接高电平（不低于4V），此时传感器的输出电压较正常工作时输出有明显变化；在传感器正常工作模态时，建议SST端口接地。
联系人
河北美泰电子科技有限公司
Hebei MT Microsystems Co., Ltd.
吝海锋
电话：(0311) 87091549
传真：(0311) 80701441
手机：18931848869
E-mail：memslin@139.com
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