MEMS公共技术服务平台-中国物联网研究发展中心
2014-01-17 14:15:08   来源：微迷   评论：0   点击：

— 开放共享、服务产业

平台组建时间：2010年11月
平台依托单位：中国物联网研究发展中心 无锡微纳产业发展有限公司 无锡华润上华半导体有限公司
MEMS公共技术服务平台，依托华润上华十余年半导体经验和规模制造能力，通过发展中心的桥梁纽带作用，建设国内首条与CMOS工艺线和MEMS规模制造线无缝对接的MEMS研发生产和测试平台。在无锡形成国内首个具备设计、加工和测试服务能力的较为完备的MEMS公共技术平台，在传感网国际创新园集聚一批具有自主知识产权的MEMS传感器研发机构和企业。

MEMS设计服务
MEMS设计服务平台在器件级智能传感元件、模块化界面电路及系统级产品等各个研发层次，提供设计软硬件、设计方法支持、MEMS与IC协同整合设计以及电性能测试与管理等全面服务。

MEMS封测服务
MEMS封装测试服务平台针对典型MEMS传感器，以委托服务或共同开发的形式，致力于器件级和晶圆级封装服务、器件级产品性能测试、电容式原理及红外原理的传感器晶圆级测试服务，以及产品可靠性测试等全方位多层次的服务。产品类型包括压力传感器、红外传感器、加速度计、陀螺仪、麦克风等。

服务成效
截至2013年底，MEMS公共技术服务平台累计为全球近40家企事业单位提供近300次服务，免除微小企业开发资金87万元；通过02专项专家组审核的企业，每个企业享有100万的资金以及封装测试服务补贴，共支持10家，导入产品16颗，累积补贴资金1500多万元。

联系方式
地址：江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C2
联系人：毕赛男 18051573292 bisainan@ciotc.org
网址：http://www.ciotc.com/MEMS/index.html