应对挑战，中科院微电子所建8英寸MEMS中试线
2016-09-26 09:40:06   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

近日，第三届全球传感器高峰论坛暨中国物联网应用峰会在合肥举行。与会嘉宾表示，物联网新应用不断涌现，MEMS成为传感器产业的新机遇。

但值得关注的是，MEMS传感器市场“好看不好吃”，鉴于碎片化的细分市场和独特的技术要求，MEMS传感器产业面临诸多挑战。在中国科学院微电子研究所（下称中科院微电子所）集成电路先导工艺研发中心主任赵超看来，国内MEMS产业发展面临的挑战包括：MEMS市场细分化突出，生产线投资大、风险高，企业产品同质化、恶性竞争，缺少产品开发平台等。

赵超介绍，为加快国内MEMS产业化，针对上述挑战，中科院微电子所建立了MEMS研发平台，其8英寸MEMS中试线工艺稳定性达到98%；针对三轴重力加速度计、基于氧化钒的红外图像传感器、医用CT中X-ray探测、基于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产品。该MEMS中试线可灵活、高效地对外提供特种工艺和小批量生产服务及详细工艺方案。

附：中国MEMS中试线

- 苏州纳米城6英寸MEMS中试线：由苏州纳米科技发展有限公司（苏州工业园区政府出资）建设，是江苏省“十二五”重大科技平台项目。

- 淄博高新区6英寸MEMS中试线：清华大学、淄博高新区MEMS研究院和国高(淄博)微系统科技有限公司共同完成。

- 上海微技术工研院8英寸MEMS中试线：在上海市政府支持下，中科院上海微系统所成立上海微技术工研院，并建设中试线。

- 中科院微电子所8英寸MEMS中试线：为加快国内MEMS产业化，针对MEMS产业化挑战，中科院微电子所建立了MEMS研发平台。