加强MEMS设计与制造协同，MEMS代工厂RVM推出灵活MEMS设计服务
2026-04-25 11:29:33   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

据麦姆斯咨询报道，专注于微机电系统（MEMS）代工业务的Rogue Valley Microdevices（简称：RVM）公司近期推出一项灵活的MEMS设计服务。该服务允许用户开展从早期概念构思到可量产器件的开发工作，并可选择将MEMS器件制造任务交由其它MEMS代工厂或RVM自身的制造设施来完成。

据麦姆斯咨询此前报道，美国纯MEMS代工厂RVM新建了一条12英寸MEMS制造线，通过将最先进的工艺模块和专业知识相结合，为客户提供从定制设计到制造无缝衔接的全方位服务。RVM专注于MEMS与传感器制造，为客户提供灵活的制造能力，在商业MEMS制造生态系统中发挥着关键作用。

RVM表示：“无论最终的MEMS制造地点位于何处，这项服务都允许用户将RVM作为其设计合作伙伴进行协作。用户可以与RVM共同开发MEMS器件，随后根据自身的需求及供应链策略，选择最契合条件的MEMS代工厂进行器件制造。”

该MEMS设计服务共包含三种合作模式：

（1）设计（Design）：涵盖MEMS器件的设计、建模及版图开发工作。

（2）设计与技术转移（Design and Technology Transfer）：在完成设计的基础上，将相关技术及方案结构化地转移至客户指定的MEMS代工厂。

（3）设计与制造（Design and fabricate）：在RVM自身的MEMS代工厂内部，实现从设计到制造的全流程集成服务。

RVM指出，此次推出MEMS设计服务正是为了响应客户的需求；客户期望在MEMS器件开发阶段获得更紧密的协作支持，同时也希望在选择制造合作伙伴时拥有更大的灵活性。

RVM首席执行官（COE）Jessica Gomez表示：“我们的许多客户正致力于突破MEMS器件在性能与集成度方面的极限，而要实现这一目标，设计与制造环节之间必须建立紧密的协同关系。”

此外，RVM还透露，公司正利用L-Edit和K-Layout等MEMS设计工具开发更加自动化的设计工作流程，并计划逐步建立正式的“工艺设计套件（PDK）”，以进一步缩短MEMS器件的开发周期。

RVM此次推出的MEMS设计服务所支持的开发工作主要涵盖以下方面：

- MEMS器件设计与版图开发；

- 设计规则检查（DRC）及版图设计标准的实施与验证；

- 实验设计（DOE）阵列的构建；

- 集成用于光刻、刻蚀及薄膜工艺验证的工艺监控结构；

- 针对可制造性进行工艺流程的开发与优化。

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