Azbil新款蓝宝石隔膜真空计上市，利用MEMS加工技术强化抗沉积性能
2023-02-21 22:05:29   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

据麦姆斯咨询报道，阿自倍尓株式会社（Azbil Corporation）近日宣布开始销售型号为V8的新款蓝宝石隔膜真空计，该产品通过MEMS加工技术强化了传感器上的抗沉积性能。

半导体工艺日益精进，与此同时，前段成膜和蚀刻工艺中使用的气体种类也在增加。根据所使用工艺气体种类，有时会在工序中使用的真空计的传感器隔膜上形成薄膜沉积物，由此造成零点偏移。这使薄膜沉积和蚀刻设备的操作人员需要频繁地调整真空计，从而影响生产计划。

Azbil一直在开发新品以解决上述问题，但随着新气体的使用这一难题无法根除。为了寻求更好的解决方案，Azbil对传感器结构和通路等进行了全面的改进，推出了V8型新产品。通过MEMS加工技术使传感器芯片表面凹凸不平，有助于阻断传感器隔膜上的薄膜沉积。另外，还对以往产品的平面传感器进行了应力平衡的改进，使传感器膜片的表面不易弯曲。通过这些措施，Azbil对因沉积而产生的零点偏移进行了改进，使V8新产品的零点偏移大幅减少到现有蓝宝石隔膜真空计SPG型号的十分之一。

另外，V8S型还具有一个与测量头分立的控制单元，能够在250°C高温下使用。由于工艺气体的变化，这种高温环境在原子层沉积（ALD）设备中很常见。

■ 产品特点

- 强化了传感器上的抗沉积性能。

- 运用MEMS加工技术，由传感器上形成的薄膜沉积物导致的零点偏移量减少为SPG型的十分之一。

- 耐250°C的高温。

- 为了应对工艺气体的变化，增加高温用型号V8S。

- 体积更小，占用空间更少。

- 提高内部零组件的空间效率，相比SPG型体积缩小40%。

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