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MEMS第三联盟以加强MEMS技术能力,为工业物联网、汽车和室内导航应用“保驾护航”
2016-06-18 11:18:03   来源:麦姆斯咨询   评论:0   点击:

据麦姆斯咨询报道,新加披科技研究局微电子研究院发起成立了MEMS第三联盟(MEMS Consortium III)来开发前沿MEMS技术。此举将促进MEMS传感器获得更好的性能、更高的能效和更小的外形。

A*STAR IME加强产业合作,将促进前沿工业级传感器的开发,从而提高MEMS器件性能,并降低成本。

麦姆斯咨询报道,新加披科技研究局(Agency for Science, Technology and Research,以下简称A*STAR)微电子研究院(Institute of Microelectronics,以下简称IME)发起成立了MEMS第三联盟(MEMS Consortium III)来开发前沿MEMS技术。此举将促进MEMS传感器获得更好的性能、更高的能效和更小的外形。

MEMS第三联盟成员包括行业领先的应用材料(Applied Materials)、Coventor、台达电子(Delta Electronics)、格罗方德半导体(GLOBALFOUNDRIES)、应美盛(InvenSense)、SPTS Technologies、Standing Egg、日本真空技术株式会社(ULVAC)、维易科(Veeco)及另一家电子公司。凭借IME在MEMS传感器领域的经验和工艺平台,联盟将共同开发可用于多种产品和应用的工业级惯性传感器和压力传感器,如电子稳定控制系统、资产跟踪、无人机、汽车和可穿戴设备。为实现这一目标,联盟成员将专注于缩小现有工业级惯性传感器和MEMS传感器之间在性能、成本、尺寸方面的差距。

印刷电路板上的能量采集器

印刷电路板上的能量采集器

联盟也将开发氮化铝(AlN)调频MEMS惯性测量单元,包含一个3轴加速度计、一个3轴陀螺仪和一个压力传感器,以及氮化铝惯性工艺流程平台和工艺设计套件。与现有MEMS传感器相比,氮化铝MEMS惯性传感器拥有诸多优势,如抗噪、高精度、更好的线性度以及更简单的读出电路设计。凭借更低的成本和更小的封装尺寸,氮化铝MEMS惯性传感器将更符合工业级性能需求。

消费类、汽车和工业领域对传感器器件的需求不断增长,传感器行业将面临更复杂的挑战,需要开发具有更多先进功能、更小封装尺寸、更高性能以及更低成本的器件。MEMS和传感器技术的研发对解决上述挑战而言至关重要,也能为各类应用对MEMS器件的大规模采用铺平道路。预计到2018年,全球MEMS市场规模将超过220亿美元。

358 MHz氮化铝MEMS振荡器

358 MHz氮化铝MEMS振荡器

IME及其工业合作伙伴在MEMS第二联盟(MEMS Consortium II)成功开发了具有先进功能并可以量产的MEMS器件,例如一款能量采集器、一款振荡器和一款磁力计。

IME的执行董事Dim-Lee Kwong教授表示:“IME在MEMS技术领域所取得的成绩与产业合作密不可分,充分体现了开放式创新对科技进步的驱动作用。我们将研发与产业经验相结合,开发出成本经济的创新型技术解决方案,并将驱动新一代电子器件实现大批量生产和商业化。”

 基于洛伦磁力的3轴磁力计

基于洛伦磁力的3轴磁力计

格罗方德半导体MEMS项目高级总监Rakesh Kumar博士说:“格罗方德半导体是IME主办的MEMS联盟的创始会员之一。加入MEMS第三联盟,我们希望与MEMS行业领先的公司取得合作,通过技术创新来加强我们的MEMS技术组合,最终为我们的客户提供广泛的技术能力和创新型解决方案。”

应美盛技术和全球制造副总裁Mo Maghsoudnia先生指出:“创建充满活力的研发合作关系,对加快创新型解决方案商业化至关重要。IME的MEMS联盟是一个开放的创新型平台,能够帮助我们在超越摩尔和后摩尔时代识别和开发最好的技术和产品。”

关于A*STAR微电子研究院

微电子研究院是新加披科技研究局科学和工程研究理事会旗下的研究机构,该机构的定位为学术界和产业界研发的桥梁,A*STAR IME的使命是通过开发战略性能力、创新型技术和知识产权,为新加坡半导体行业增值;让企业变得更具科技竞争力;培养技术人才库,不断为产业注入新的知识和技术。A*STAR IME的主要研究领域为集成电路设计、先进封装、生物电子和医疗器械、MEMS、纳米电子学和光学。

关于新加披科技研究局(A*STAR)

A*STAR是新加坡领先的公共部门机构,该机构以经济为导向进行研究,开发先进的科学发现和创新型技术。通过开放式创新, A*STAR致力于与公共和私人机构通过合作共赢,造福社会。

作为一个科学和技术机构,A*STAR缩小了学术界与产业界之间存在的鸿沟。我们的研究为新加坡创造了经济增长和就业机会,并通过贡献社会效益改善人们的生活质量,如改善医疗成果、城市生活和可持续发展。

A*STAR在我们的机构和研究院、其它研究团体和产业界的各类技术人才和领导人才的培养和开发中,扮演着重要角色。A*STAR管理着18所位于启奥生物医药园和企汇园(新加波纬壹科技城内的两个研究中心)的生物医学科学、物理科学和工程研究领域的研究机构。

关于Coventor

Coventor是为半导体工艺技术和MEMS技术开发提供自动化设计解决方案的市场领导者。Coventor为全球厂商提供快速而准确的“虚拟制造”,帮助工程师在开发过程中提前了解有可能对制造产生影响的因素,减少耗时和昂贵的硅学习周期。Coventor公司的MEMS设计解决方案用于开发汽车、航空航天、工业、国防和消费电子,包括智能手机、平板电脑和游戏系统中所使用的MEMS产品。公司总部位于北卡罗来纳州凯瑞市,在加利福尼亚州的硅谷、马萨诸塞州沃尔瑟姆市及法国巴黎均设有办事处。获取更多相关信息,敬请访问:http://www.coventor.com.

MEMS第二联盟取得的成就

MEMS第二联盟成功地开发了具有先进功能并可以量产的MEMS器件,例如一款能量采集器、一款振荡器和一款磁力计。

为轮胎气压监测系统(TPMS)开发的能量采集器在20g的加速度时显示的功率频谱密度为29 mW.Hz,最大输出功率约为0.47 mW,最大抗震g值超过5000g。。该能量采集器结构非常紧凑,器件大小约为0.12立方厘米。该器件也能用于工业和物联网(IoT)应用中的医学健康监测。

该联盟还开发了一款克服传统石英晶体振荡器局限的MEMS振荡器,具体体现为小型化、高频率稳定性和低功耗。该MEMS振荡器使用了一款超低功耗(仅需192 Mw)、高频率(358 MHz)的氮化铝谐振器,该器件产生的噪音很低,这对应用于高速通信网络的消费类电子和无线传感器来说,是非常重要的特性。

MEMS第二联盟的另一个重要开发是成本经济且与互补式金属氧化物半导体(CMOS)兼容的磁力计,它使用洛伦磁力代替磁性材料来测量磁场,并采用硅通孔晶圆级封装来减小封装尺寸。该平台可以在同一片晶圆上集成一个3轴加速度计、一个3轴陀螺仪、一个3轴磁强计和一个压力传感器,实现了一个芯片上集成10自由度的惯性测量单元。

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