日本航空电子展出高灵敏度MEMS三轴加速度计
2014-10-13 16:56:58   来源：微迷   评论：0   点击：

日本航空电子工业公司在10月7～11日于千叶市幕张MESSE国际会展中心举行的“CEATEC JAPAN 2014”上，参考展出了设想用于桥梁等构筑物的健康监测用途的MEMS三轴加速度计。目前已开始样品供货，将根据市场反应来决定是否推出产品。

日本航空电子面向飞机及地震计测用途，推出了机械伺服式加速度计产品。这种方式的传感器虽然灵敏度较高，但同时也存在部件数量多，因而价格昂贵的问题。构筑物监测等用途需要设置大量传感器，要求推出成本更低的传感器。因此，该公司根据在机械伺服式传感器中积累的经验，开发了可用于构筑物监测等用途的高灵敏度MEMS传感器。

此次开发的MEMS加速度计的灵敏度为0.204V/（m/s2），计测范围为±19.6m/s2。与智能手机等使用的加速度计相比，灵敏度高出近2个数量级。噪声密度为9.8μ（m/S2）/√Hz以下，偏置温度系统数在±1962μ（m/s2）/℃以内。

日本航空电子表示，该公司还瞄准了构筑物监测以外的用途，打算向市场有望扩大的无人机等领域推广该产品。不过，用于飞机时需要将加速度计与陀螺仪一起使用，因此还在讨论开发MEMS陀螺仪的必要性。