紫外级熔融石英晶圆
2012-01-11 20:12:33   来源：微迷   评论：0   点击：

紫外级熔融石英晶圆

UV Grade Fused Silica

紫外级熔融石英晶圆具有极高纯度的无定形二氧化硅。紫外线、可见光和近红外波长区域的光均可很好地在石英晶圆中传输，并且其热膨胀系数很低，化学纯度非常高。

应用：基底（substrates）、载体（carriers）、半导体光照掩模（photo masks）和紫外光学应用（UV optical applications）

化学性质：

* 化学稳定性（氢氟酸除外）：高抗水性、高抗酸性

* 羟基（OH）含量：<1200ppm

* 杂质含量：<5ppm

热学性能：

* 热膨胀系数：0.55x10^-6/K（20°C-300°C）

* 导热系数：1.4W/mK

* 比热：670J/kgK

* 软化点：1683°C

* 退火点：1215°C

* 应变点：1120°C

电气性能：

* 电阻率：7x10^7 ohm cm（350°C）

* 绝缘特性（20°C、1MHz）：

** 常量：3.75

** 强度：5x10^7V/m

** 损耗因子：<1x10^-4

** 消耗因数（介质损耗角）：1x10^-4

* 渗透性常数（cm^3 mm/cm^2 sec cm of Hg）（700°C）

** Helium 210x10^-10

** Hydrogen 21x10^-10

** Deuterium 17x10^-10

** Neon 9.5x10^-17

力学性能：

* 密度：2.20g/cm^3

* 硬度：5.5-6.5莫氏硬度；570 KHN100

* 设计抗拉强度：4.8x10^7Pa（N/mm^2）

* 设计抗压强度：>1.1x10^9Pa

* 体积弹性模量：3.7x10^10Pa

* 刚性模量：3.1x10^10Pa

* 杨氏模量：7.2x10^10Pa

* 泊松比：0.17

光学性质：

* 双折射常数：4-6 nm/cm

* 阿贝常数：67.6

* 折射率(nd) at 588nm: 1.4586

* Transmission:

** > 90% (avg.) @ 200...260 nm

** > 92% (abs.) @ 260...2000 nm

声学特性：

* 声波横波速度：3.75x10^3m/s

* 声波/压力波速度：5.90x103 m/s

* 声波衰减：<11db/m MHz

双面抛光紫外级熔融石英晶圆尺寸规格：直径：100mm（4英寸）、150mm（6英寸）、200mm（8英寸）；厚度：100μm-3000μm

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