MEMS执行器告别十年真空期
2015-09-14 20:06:05   来源：微迷   评论：0   点击：

MEMS传感器，顾名思义，发挥的是感知和探测的作用，犹如人的眼睛、耳朵和鼻子一般。如果传感器接收到了信号，再进行执行则更为理想。随着MEMS技术的发展，MEMS开始从前端的感知向后端的执行延伸，这主是MEMS执行器。

​其实，微执行器早在十年前已开始应用，例如打印机的喷墨喷头用的就是此技术。不过，微执行器的发展并不像传感器那样得到普遍应用。

对于这个原因，意法半导体执行副总裁Benedetto Vign认为：“一方面是生产能力，规模效应对于生产的成熟度，十年前业界对这块生产的成熟度不是特别信任。另一方面是技术的应用往往也要天时地利人和，有时候有很好的技术，但真正的应用和产品并没有到达相应的节点。比如，现在可以用推进器实现自动对焦，十年前手机像素很低，侧重点在于提高像素，还不需要自动对焦。”

随着智慧家庭和智慧城市的发展，为MEMS的发展带来巨大推动力，微执行器迎来发展机遇。

在MEMS执行器主要类别，目前主要有四种。意法半导体大中华暨南亚区模拟MEMS和传感器产品部市场总监吴卫东告诉记者，一是压电式微执行器，用于相机自动对焦和喷墨打印头；二是静电式微执行器，可用于免触控用户界面、超级本投影、微型反射镜等；三是热学微执行器，可用于喷墨打印头、MEMS微射流执行器；四是电磁微执行器，应用于微型反射镜、免触控用户界面、超级本投影等。

对于具体应用而言，压电式微执行器在自动对焦上，可开发智能手机自动对焦执行器，比传统的音圈电机解决方案功耗更低，速度更快。例如，可以做到0.2秒“人眼级”激光对焦时间和光学防抖技术，防抖精度提升20%，功耗比标准光学防抖手机拍照系统降低55%。在喷墨打印头上，可以用于商用或工业用高速喷墨打印机打印头。

此外，还可以应用于光学投影上，比如，HUD抬头显示驾驶信息，扩大手机显示屏的投影，可穿戴设备的人机界面。在微型影像扫描反射镜应用上，主要是3D打印机上的3D扫描、沉浸式游戏手势控制、面部识别等功能。还有用在智能胰岛素输送泵上，有效减少传统胰岛素设备的不便携带和非智能化。

物联网时代的发展，使得MEMS执行器和传感器有了更为广阔的用武之地。

在MEMS技术的应用重点方面，环境传感器和MEMS麦克风将成为重头戏。吴卫东认为，物联网能够连接的对象大部分是不动的，比如房间里灯、烟感探测器、家电等。对此，将有越来越多的智能概念会把环境的物理量，温度、湿度、压力、紫外线作为一个很好的传感器去应用得到。对于麦克风整体市场来看，声音的应用主要分两个：一是要把声音收好了，这就需要麦克风；二是要对收进来的声音处理好。而当前声音的应用还比较初级，MEMS麦克风整体市场的潜力还非常大。

MEMS执行器与传感器实现有效的补充，将助推智慧家庭、智慧城市、智慧汽车、智能个人医疗和健身的快速发展。