中国将征服MEMS世界？
2014-03-22 15:14:33   来源：微迷   评论：0   点击：

在“疯狂”开发应用于平板电脑和智能手机的本土应用处理器之后，中国企业家现在认为，智能手机中的MEMS出货量迅速增长，前景如此之诱人，再也不能错失良机了。

因此，MEMS在中国已经成为“时尚”。

在Yole Developpement发布的全球排名前20位的MEMS公司中，目前还难以见到中国公司的身影。新兴的中国MEMS公司很可能集中“进攻”低端MEMS领域，如MEMS麦克风和压力传感器。

中国的初创企业可能出现影响全球MEMS市场的关键角色，改变最近10~20年的中国微电子产业现状，抒写中国“芯”历史篇章。

在基于CMOS工艺的SoC领域，尽管中国无晶圆厂半导体公司的经验相对较少，但已经能够快速挣钱。一些公司把握住市场机遇，成为赢家，如展讯、全志和瑞芯微。然而，很多公司是依靠无情的价格战取胜。

MEMS与CMOS不同，将考验中国初创企业的耐心、长远眼光、知识产权（IP）组合的广度和深度。而这些都不是中国的强项。

如今，中国主要有四家消费类MEMS惯性传感器供应商，包括美新（MEMSIC）、深迪（Senodia）、明皜（MiraMEMS）和矽睿（QST）。据报道，越来越多的MEMS公司都来中国寻找机会，主要驱动来自中国风险投资（VC）和大型上市企业的浓厚兴趣。

表1 领先的消费类MEMS惯性传感器供应商及其产品

同时，政府、研究所和高校也推动中国MEMS产业发展。如苏州工业园区的苏州纳米所、无锡新区的中国物联网研究发展中心、山东淄博的国高（淄博）微系统科技有限公司、上海嘉定的上海微技术工研院等。

专访矽睿CEO谢志峰

谢志峰是一名半导体老将，1988年加入美国英特尔公司研发X86处理器，2001年6月，谢博士回国追随张汝京博士创办中芯国际集成电路制造有限公司，积累了十多年半导体制造经验。2011年3月，担任上海先进半导体制造有限公司总裁兼执行董事。

2011年，谢总已年过50岁，越来越想创造自己的事业。“曾经我的英特尔老板对我说，如果我不在英特尔工作，则无任何值得称道之处。”谢总坦言，“为了向前老板证明我的能力，我觉得我需要创业。”

“知天命，顺天意”。2012年9月，谢总成立上海矽睿科技有限公司（QST），专注于“高端磁传感器和MEMS传感器技术”。虽然不是MEMS领域专家，但谢总喜欢MEMS，并认为该领域缺乏中国公司的有力竞争。

成立矽睿源于他的“尽职调查”，谢总发现上海微系统所具有较为优秀的陀螺仪技术。“几乎在世界任何地方，科研院所一般都没有批量生产的能力，以及降低产品成本的经验，尤其是消费电子市场”。谢总观察到。起初，谢总与上海微系统所探讨：将陀螺仪技术和相关专利给予矽睿，以换取部分股份，但不含任何现金交易。另外，谢总还获得了霍尼韦尔公司的各向异性磁阻（AMR）磁传感器技术的全球独家永久特许权。

通过租赁上海华虹-宏力半导体制造有限公司的8寸生产线，并与代工厂合作开发工艺，矽睿于去年秋天发布了第一款产品——AMR磁力计QMC6983。矽睿开发的这款三轴磁力计基于霍尼韦尔公司的技术，上市两个月之内销售了70万颗。

“由于干扰，即使智能手机配备压力传感器往往也不能很好的支持室内GPS定位。而矽睿AMR磁力计内置自检功能和温度补偿模块，具有高精度和高可靠性，因此可以解决上述问题。”谢总说，“由于这些技术优势，AMR磁力计还适用于可穿戴设备和其它多种应用。”

“若要赶上MEMS领导厂商，如博世和意法半导体，矽睿仍然有很长的路要走。初创企业不仅要追赶领导者，还需要做长期规划，这样才能灵活应对市场的风云变幻。”

MEMS新范式

Yole Developpement最新报告指出，“过去几年，惯性传感器市场一直很活跃，创新技术持续不断。如今，这类传感器已成为最大的MEMS市场（2012年超过35亿美元），并且短期内不会发生太大变化。分立的惯性传感器（如单轴-三轴加速度计、陀螺仪和磁力计）已经成熟，单价迅速下降，未来增长动力来自于组合传感器。目前，加速度计+陀螺仪的组合，加速度计+磁力计的组合，9轴组合传感器正渗透各种消费类应用。”

有观察人员说，中国对MEMS感兴趣，主要是因为MEMS不会集成到手机的SoC芯片中。然而，这一说法并不正确。

大多数企业家认为MEMS领域有很高的“门槛”。如果您想进入MEMS，请看看谢总列举的六个注意事项：
（1）每个MEMS技术都需要一项独特的制造技术。
（2）MEMS需要你自己的传感器设计。
（3）MEMS需要一个与传感器配对的低功耗ASIC。
（4）MEMS和ASIC必须封装在一起。
（5）MEMS需要在运动中测试。
（6）手机中的各种传感器、手机模块之间的通信方式不尽相同。

如果说在进入MEMS市场之前，有哪些地方是被谢总低估的，那么就是软件的工作量，现场应用工程师需要在客户端做很多软件微调工作。同时，6轴和9轴传感器应用市场不断拓展，不同供应商的传感器组合搭配增加了算法的复杂性，“因此，一站式的解决方案使得MEMS集成更加简单、可靠。”谢总解释说。

除了AMR磁力计，矽睿本周刚发布第一款3轴加速度计，此外还规划了CMOS集成的6轴和9轴运动传感器。谢总说，“当传感器中枢（Sensor Hub）出现时，我们就决定把它加入到矽睿产品路线图上，预计是2015年或2016年。考虑到ARM良好的生态系统，所以我们会首选ARM低功耗版本，其次是MIPS。”

MEMS，中国来了，目标征服世界！