高性能硅MEMS工程技术研究中心在苏成立
2014-03-16 08:36:40   来源：微迷   评论：0   点击：

“苏州将在国内率先实现高性能硅MEMS（微机电系统）惯性器件及惯性测量单元工程化，打破国外技术封锁，促进我国MEMS技术和产业的健康、快速发展，并向国家级MEMS工程技术研究中心迈进”。近日，江苏省高性能硅MEMS工程技术研究中心在位于高新区的中国兵器工业集团公司214所成立。

214所是中国兵器工业集团公司直属唯一从事微电子技术及应用研究的专业骨干研究所，于2009年10月在苏州科技城建立研发中心，主要从事MEMS专用信号检测与处理集成电路、MEMS惯性器件与惯性测量单元、微小型电子信息系统的技术和产品开发。

“江苏省高性能硅MEMS工程技术研究中心成立后，将进一步加快建设MEMS惯性器件和组件自主创新研发平台，突破和掌握一批核心关键技术，实现高性能硅MEMS惯性器件工程化，打破国外封锁和垄断，促进我国MEMS技术和产业健康快速发展，创造更大的社会经济效益和军事价值。”高新区相关负责人表示。

MEMS主要包括：微型机构、微型传感器、微型执行器以及相应专用集成电路等，通常尺度为微米级。MEMS器件以体积小、价格低、高可靠等优点，广泛应用于汽车电子、生物医学、常规弹药制导化等军民领域。

长期以来，尖端MEMS器件的创新与发展主要由美国、欧洲部分国家及日本等为主导，国内自主研制的器件量程低、抗过载能力不强、精度不高。

新闻链接：

2013年7月27日，中国兵器工业集团第214所与清华大学、东南大学、苏州大学共同签署MEMS技术和产品产业化战略合作框架协议，依托产学研相结合的方式，推进这项技术在军事和民用领域得到广泛应用。