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MEMS器件检测是半导体领域机器视觉应用的核心
2019-04-24 10:05:41   来源:麦姆斯咨询   评论:0   点击:

麦姆斯咨询:MEMS包含各种可动元件并且需要各种检测工艺。对于不同的检测工艺通常需要多个步骤,而在产线中具有缩减检测过程的需求。ViSCO实现了这一目标,提供了整套解决方案,包含外观检测视觉控制器、VTV-9000和光学识别技术。

微访谈:ViSCO Technologies总裁兼首席执行官Hideyuki Adachi

据麦姆斯咨询介绍,Yole发布的《MEMS产业现状-2018版》报告显示,2018年MEMS传感器和执行器市场规模达到了540亿美元,市场营收复合年增长率(CAGR)达到了15%。而根据《超越摩尔应用的晶圆市场-2018版》报告,超越摩尔领域有4800万片等效8英寸晶圆需要进行检测和封装。这些领域都需要应用机器视觉检测系统。为此,Yole旗下 I-Micronews团队采访了ViSCO Technologies总裁兼首席执行官Hideyuki Adachi,以了解机器视觉检测系统行业。

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i-Micronews团队(以下简称i-MN):请您简要介绍一下ViSCO Technologies,及其在机器视觉生态系统中的位置?

Hideyuki Adachi(以下简称HA):ViSCO Technologies是一家总部位于日本东京的机器视觉系统制造商。ViSCO致力于以“哪种技术可以取代人眼”为目标,从事产品开发。

通过利用高精度图像处理技术,ViSCO再现了“感性判断”、“基于经验的判断”和“识别”,使机器视觉更接近人类的思维方式,从而为制造工艺中的自动化检测做贡献。

ViSCO不仅提供机器视觉检测系统,还提供整体解决方案,包括可选的光学设备,为处理设置提供建议,以及实施后的后续支持。特别是,ViSCO提供了在生产线上表现卓越的外观检测解决方案。

MEMS器件检测是半导体领域机器视觉应用的核心

ViSCO目前供应的产品包括整套光学装置,带有多款相机、镜头和可选的照明方案,可用于各种高速MEMS检测。ViSCO的解决方案可以在单一步骤中利用多种照明/图像捕捉模式,有助于节省空间并提高检测吞吐量。

i-MN:推动MEMS外观检测系统的主要因素是什么?

HA:MEMS包含各种可动元件并且需要各种检测工艺。对于不同的检测工艺通常需要多个步骤,而在产线中具有缩减检测过程的需求。ViSCO实现了这一目标,提供了整套解决方案,包含外观检测视觉控制器、VTV-9000和光学识别技术。可以在一个步骤进行多次检测,利用高效的图像采集节省了空间,检测吞吐更快。

ViSCO的外观检测解决方案已广泛应用于MEMS麦克风、压力传感器、陀螺仪、加速度计、体声波(BAW)滤波器、磁传感器、发光二极管(LED)等产线,检测内容包括芯片上的裂缝、键合位置、引线断裂或弯曲、多余的胶水或模塑等。

MEMS器件检测是半导体领域机器视觉应用的核心

i-MN:MEMS外观检测系统需要什么架构和性能?

HA:举例来说,ViSCO专门用于MEMS外观检测的带有两个相机的模块,可以在一个步骤对芯片和引线进行外观检测,实现大约只需0.1秒的高性能检测。使用ViSCO的照明技术,即使采用高速快门,也可以捕捉聚焦的图像。因此,可以检测运动中的部件。模块中的光学元件专门为MEMS检测而选择,为产线部署提供了无障碍衔接。

VTV-9000系列是一种用于外观检测的视觉控制器,具有“像人一样思考”的检测算法,能够提供更接近人眼检查的高精度检测。VTV-9000系列所有型号均安装了60多种检测工具,可为各种工业产品检测提供多功能性,同时具有的高专业性,可满足特定应用需求。除了MEMS检测外,VTV-9000系列还可广泛用于电子元件、药品和商品的检测。

i-MN:你们的产品对帧速和分辨率有什么要求吗?

HA:VTV-9000系列提供从入门到高端的六种型号。终端用户可以根据检测要求选择相关的控制器,例如最低缺陷检测大小或周期。VTV-9000系列还提供广泛的相机可供选择,包括从3.6ms/帧传输速率和2M像素或7.6ms/帧传输速率和500万像素的高速相机,到25M或29M像素超高分辨率相机等。

i-MN:除了相机和照明硬件,ViSCO还提供机器视觉系统软件吗?

HA:ViSCO为VTV-9000系列提供了支持功能,简化并提高了产线的可视化。ViSCO提供VTV-QCS软件对VTV-9000系列的运行状态进行远程监控,以及检测结果管理的集中控制,还有ViSCO数据分析仪(VDA)软件,以生成检测结果监控的实时图表。

延伸阅读:

《MEMS产业现状-2018版》

《超越摩尔应用的晶圆市场-2018版》

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