Qualtre推出利用BAW MEMS技术制造的单轴陀螺仪
2014-11-19 08:31:10 来源:微迷 评论:0 点击:
美国Qualtre公司开发出了利用体声波(BAW:Bulk Acoustic Wave)MEMS技术制造的陀螺仪“QGYR110HA QGYR110HD”,现已开始样品供货,预定2014年12月底开始量产。
美国Qualtre公司开发出了利用体声波(BAW:Bulk Acoustic Wave)MEMS技术制造的陀螺仪“QGYR110HA/QGYR110HD”,现已开始样品供货,预定2014年12月底开始量产。该产品采用该公司自主开发的“HARPSS(High Aspect-Ratio Poly and Single crystalline Silicon)”制造工艺。据介绍,“与利用普通MEMS技术制造的陀螺仪相比,坚固性和基本性能更高,外形尺寸更小”。除了机器人、油钻、气钻等工业用途的电子设备外,还可用于防震台和导航仪设备等。
利用BAW MEMS技术制造的陀螺仪
新产品的满量程范围可在±200度/s(秒)或±3000度/秒之间选择,灵敏度为0.25mV/度/秒,噪声密度为0.008度/秒/√Hz,偏置稳定性为14度/Hr(小时),偏移温度误差为0.04度/秒/℃。QGYR110HA采用模拟信号输出,QGYR110HD采用数字信号输出,支持I2C/SPI接口。配备温度传感器和自检功能。电源电压为+3V,消耗电流为4.5mA,封装采用外形尺寸为7 mm x 7 mm x 2.9 mm的32端子LGA,工作温度范围为-40~+85℃。价格未公布。
另外,Qualtre还宣布,采用BAW MEMS技术制造的3轴陀螺仪已于2014年6月实现产品化。型号为“QGYR330HA/QGYR330HD”。