Qualtre推出利用BAW MEMS技术制造的单轴陀螺仪
2014-11-19 08:31:10   来源：微迷   评论：0   点击：

美国Qualtre公司开发出了利用体声波（BAW：Bulk Acoustic Wave）MEMS技术制造的陀螺仪“QGYR110HA/QGYR110HD”，现已开始样品供货，预定2014年12月底开始量产。该产品采用该公司自主开发的“HARPSS（High Aspect-Ratio Poly and Single crystalline Silicon）”制造工艺。据介绍，“与利用普通MEMS技术制造的陀螺仪相比，坚固性和基本性能更高，外形尺寸更小”。除了机器人、油钻、气钻等工业用途的电子设备外，还可用于防震台和导航仪设备等。

利用BAW MEMS技术制造的陀螺仪

新产品的满量程范围可在±200度/s（秒）或±3000度/秒之间选择，灵敏度为0.25mV/度/秒，噪声密度为0.008度/秒/√Hz，偏置稳定性为14度/Hr（小时），偏移温度误差为0.04度/秒/℃。QGYR110HA采用模拟信号输出，QGYR110HD采用数字信号输出，支持I2C/SPI接口。配备温度传感器和自检功能。电源电压为+3V，消耗电流为4.5mA，封装采用外形尺寸为7 mm x 7 mm x 2.9 mm的32端子LGA，工作温度范围为-40～+85℃。价格未公布。

另外，Qualtre还宣布，采用BAW MEMS技术制造的3轴陀螺仪已于2014年6月实现产品化。型号为“QGYR330HA/QGYR330HD”。