第九届“微言大义”MEMS研讨会再掀MEMS热潮
2014-04-15 10:36:46   来源：微迷   评论：0   点击：

2014年4月11日，由中国传感网国际创新园、中国物联网研究发展中心、中国微纳技术俱乐部和无锡麦姆斯咨询有限公司主办的第九届“微言大义”MEMS研讨会在无锡新区隆重召开，本次会议主题是：设备和材料。“微言大义”再掀MEMS热潮，吸引全球120+名参会者，坐无虚席，凸显行业前景可期。参会单位涉及MEMS产业链各环节，包括设备、材料、代工、设计、封装、测试、代理、投资和媒体；参会者来自全球各地，如美国最大MEMS代工厂IMT、德国马克思普朗克生物物理化学研究所、VTT芬兰科技研究中心、台湾界鸿科技股份有限公司、香港优博创新科技有限公司等。

本次活动背景：虽然MEMS还没有标准化，但是各家MEMS公司正不断优化自己的技术平台以降低成本。这些工艺创新将使得MEMS设备和材料市场的复合年增长率（2012-2018年）达到7%。其中，MEMS设备市场规模将从3.78亿美元增长到5.12亿美元，复合年增长率为5.2%，值得一提的是MEMS设备的市场变化与主流IC设备极其相似；MEMS材料市场规模将从1.36亿美元增长到2.48亿美元，复合年增长率为10.5%。

美国“高大上”企业应用材料销售经理杜嘉琪主要介绍三部分内容：（1）MEMS市场及应用技术；（2）应用材料公司的MEMS研发内容；（3）先进的MEMS工艺和薄膜技术，如DRIE、CVD和PVD等。中国“实力派”公司北方微电子副总裁暨国家“千人计划”刘韶华深入浅出地阐明了深硅刻蚀技术在先进MEMS制造中的应用，展现了中国在高端半导体设备领域的强大实力。

中国物联网研究发展中心智能传感器工程中心封装测试部门主管明安杰重点介绍了面向压力传感器、惯性传感器的自主开发的MEMS多传感器半自动化测试设备，目前实现了多家客户的测试服务验证和本套测试系统产业化销售。

WaferPlus CEO黄硕彦在玻璃和石英材料方面有独到见解，重点阐述了它们在MEMS与微流量反应器上的应用。纳腾仪器资深工程师纪鸣以MEMS微镜偏转力学测试视频生动地展现了MEMS力学性能检测技术，随后又介绍了纳米压印在柔性器件领域的应用。

晶微科技客户经理黄力浅谈了自动化装配在MEMS设计中需要考虑的因素：上料方式、用于MEMS器件及封装的基准标示、MEMS 禁止接触区域及特殊拾取工具要求、材料与组件和应用的兼容性等。

最后两个麦克风主题：金东唐精机总经理郑谦的演讲主题主要包括：（1）MEMS麦克风市场趋势；（2）MEMS麦克风测试内容；（3）MEMS麦克风测试实验室。华扬电子（普诺威）总经理Frank介绍了4种MEMS麦克风结构：（1）三层PCB结构；（2）铝壳+Base结构；（3）三层PCB Bottom结构；（4）两层PCB Bottom结构，并以其丰富的经验讲解了PCB Wire Bonding PAD 设计方式。

目前，“微言大义”MEMS研讨会已经成功举办九届，足迹遍布中国MEMS的中心区域，包括北京、上海、无锡和苏州等，成为中国MEMS行业第一品牌会议。演讲ppt下载和视频观看，请访问：www.MEMSeminar.com