第五届“微言大义”MEMS研讨会圆满落幕
2013-04-27 11:12:41   来源：微迷   评论：0   点击：

上海新微电子有限公司 曹明霞

『第五届“微言大义”MEMS研讨会：MEMS应用及市场发展趋势』于4月27日在北京圆满落幕，本次会议吸引了70多位MEMS业界人士参加，不仅仅有北京、天津，还有来自河北、上海、武汉、深圳、无锡的专家，很好地促进了北京地区MEMS交流与合作。

1、北京广微积电科技有限公司CTO雷述宇介绍了红外探测器主要技术类型及MEMS结构。世界上非制冷红外探测器氧化钒技术占到近近80%的市场份额，其余为非晶硅技术。红外探测技术在军用、工业及民用市场有着非常重要的战略地位，而目前国内红外探测器超过一半需要进口，采购成本高，出口配额、国际关系、供应商产能方面均存在不确定因素。目前，军用市场是红外热像仪最主要的市场（约25亿人民币），民用市场（目前也有约25亿元人民币）发展迅速，增长空间巨大。我国红外主要厂商有浙江大立、广州飒特、武汉高德，规模相差不多。

2、清华大学微电子学研究所教授刘泽文教授介绍RF MEMS开关从1979年研究起步，优点包括功耗近于零、隔离度非常高、插入损耗小、线性度高、Q值高，有着非常广泛的应用需求（无线通信、国防、ATE等），有巨大、长期的市场需求。2011年Wispry签约三星，为其提供可批量生产的、基于RF MEMS可调天线的核心组件WS2017，为RF MEMS器件在移动通信领域大批量市场化带来重大机遇。另外，4G的到来引入新的协议，运营商和设备商需要利用更有限的频谱空间集成更多天线，加大了对RF MEMS的需求。

3、中科院电子所传感技术国家重点实验室北方基地副主任王军波主要介绍了电子学研究所主要研究领域和方向，主要涉及环境监测领域、医疗保健领域、能源资源领域。具体包括生物传感器（生物芯片与uTAS、电化学传感器、光学生物传感器、集成传感器芯片系统、SPR生化分析系统）、化学传感器（水污染检测传感器、气体传感器、IMS）、物理量传感器及系统（电场传感器及系统、高精度压力传感器、气象传感器、地震传感器）、无线传感网络（无锡滨湖区太湖水质监测、健康监护传感器网络）。

4、北京大学微电子学院王奕青老师以生动的MEMS应用案例说明了MEMS创新应用的多样性，技术并不是创新应用的最大障碍。由北京大学张海霞教授发起的国际大学生ICAN物联网创新创业大赛促进了企业和高校之间的合作，开拓了传感器新应用并培养了未来MEMS领军人才。目前iCAN大赛与广大合作伙伴保持良好的关系，包括MEMSIC、Freescale、中星测绘、北京广积微电、苏州敏芯、上海深迪等国内外厂商。参赛学生积极发挥聪明才智设计出富有创意的MEMS应用方案，其中不少创意已经转化为实际产品。

5、河北美泰电子科技有限公司市场总监吝海锋主要介绍了MEMS传感器在测试测量领域中的应用，重要讲解了高端加速度计测量振动及冲击上的应用。2011年全球高端加速度计市场规模达到2.3亿美元，主要厂商包括Endevco、Colibrys、Silicon Design、PCB、VTI及Tronics等。振加速度传感器要求零频响、无损、多通道分布式测量，基于MEMS技术的电容式微振测量模块已经成为发展的主流。国防关键设备、精密设备的可靠、稳定工作需要对设备微动力环境进行实时监测。具体应用包括微振动测量、地震测量、惯性制导与导航、高精度伺服加速度计、飞行状态监控等。河北美泰电子科技有限公司隶属于中电十三所，现已推出MEMS惯性器件、汽车MEMS传感器、射频RF MEMS器件、光MEMS、MEMS燃气表等产品，拥有6英寸MEMS加工和封装基地。

6、北方微电子主要提到了刻蚀工艺和设备在MEMS中的应用，国产DRIE设备已经可以实现对进口产品的替代，并在售后服务上沟通容易、装机迅速、维修维护方便，工艺支持程度高，价格相对进口设备整体偏低。

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