Lam Research与Coventor联姻有助于MEMS制造发展
2017-11-10 20:26:12 来源：麦姆斯咨询评论：0 点击：

众所周知，Coventor所开发的软件用于设计微机电系统（MEMS）芯片，以及如3D finFETs的亚10纳米器件。半导体代工厂设备制造商Lam Research（泛林集团）为何会收购软件公司Coventor？

众所周知，Coventor所开发的软件用于设计微机电系统（MEMS）芯片，以及如3D finFETs的亚10纳米器件。半导体代工厂设备制造商Lam Research（泛林集团，以下简称Lam）为何会收购软件公司Coventor？

据麦姆斯咨询报道，完全如分析师们所料，Coventor被Lam所收购其实只是表面上属于Lam。在SEMI组织的MEMS与传感器执行大会（MSEC）上，两家公司宣布，他们将保留各自的总部，并更多地依赖软件与硬件合作设计的协同效应，从另一个角度来看，这种模式将使双方在竞争中处于优势。

在MSEC中，Coventor的MEMS项目副总裁Stephen Breit接受EE Times采访时表示，“Coventor最初是一家做MEMS设计的软件公司，专注于MEMS芯片的微米级3D结构设计。而现在我们的主营业务是设计纳米级3D半导体器件，主要针对先前未涉及的工艺集成和开发市场。”

同样，Lam也在为MEMS代工厂设计工艺设备，并大力开发亚10纳米级半导体器件制造设备市场。尽管Coventor仍维持其独立性，并将向Lam的竞争对手出售产品，但两家公司声明，协同工作已简化了双方的开发过程。

Lam Research的高性能硅蚀刻系统

Lam的战略营销总监Michelle Bourke说道，“Lam是MEMS设备制造商的领导者，特别是前沿惯性传感器和射频（RF）MEMS器件。目前，该行业对如指纹传感器、麦克风和谐振器等压电式和压阻式器件的热情越来越高，我们的技术也已随之发展，可满足这些新工艺的要求。”

Bourke补充道，“除蚀刻技术外，我们还为MEMS提供了一系列的沉积解决方案，并通过单晶圆清洗技术来进行硅晶圆减薄及背面残留物去除。”

Lam和Coventor双方均从此次收购中获益，每一方都是通过对方硬件或软件的专长提高了自己的产品性能，缩短了交货周期和研发新产品的时间。根据两家公司的说法，同时使用Lam硬件和Coventor软件的客户也将受益于双方共同改进后的MEMS设计制造能力。

Breit还说：“至此，我们将所有制造变量共同引入了设计过程，这样就可以显著减少开发时间。我称其为1加1等于3的命题。”

CoventorMP开发周期：从带有MEMS+布局、CoventorWare材料和工艺设备的参数设计入口，到器件级建模和仿真、系统级（通过直接接口到Matlab）和电路级（通过直接接口到Cadence）

延伸阅读：

《MEMS产业现状-2017版》

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