InvenSense和GLIBALFOUNDRIES合作商业化领先的超声波指纹传感器
2017-03-10 07:59:04 来源：麦姆斯咨询 评论：0 点击：
InvenSense（应美盛）和GLOBALFOUNDRIES（格罗方德）宣布，双方将就应美盛UltraPrint超声波指纹触摸传感器解决方案应用的超声波指纹成像技术展开合作。应美盛和格罗方德的合作，将首次实现氮化铝压电微机械超声换能器的商业化制造。
InvenSense（应美盛）的UltraPrint技术可使超声波指纹解决方案置于玻璃及其它固体表面下方。
据麦姆斯咨询报道，MEMS传感器平台领先供应商InvenSense（应美盛）和先进半导体制造技术领先供应商GLOBALFOUNDRIES（格罗方德）近日宣布，双方将就应美盛UltraPrint超声波指纹触摸传感器解决方案应用的超声波指纹成像技术展开合作。应美盛和格罗方德的合作，将首次实现氮化铝压电微机械超声换能器（piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers, pMUT）的商业化制造。随着双方的紧密技术合作，应美盛的CMOS-MEMS平台得以扩展至pMUT器件，为手机和物联网产品提供生物识别验证解决方案。
3D MEMS指纹传感器的薄层、通孔和其它结构
扫描电子显微镜影像显示MEMS层与底层CMOS电路的整合
手机OEM厂商一直在寻求能够将指纹传感器置于盖板玻璃或背面金属下方的高耐用性、无按键解决方案。电容指纹传感器无法穿透金属实现传感，仅能穿透0.3mm厚的玻璃，这使其耐用性成问题。应美盛的UltraPrint技术超声指纹传感器，能够实现厚玻璃或金属材料的使用，而不会影响生物识别性能。此外，该技术能够增强指纹成像，用户的手指皮肤即使沾染了油污、护肤霜或汗水等常见污染物，也不会影响传感器的性能。这些关键优势结合格罗方德基于氮化铝的制造技术，能够确保高性能器件所需要的持久品质，并能扩展至智能手机、智能家居、可穿戴设备支付或健康互动的安全识别应用。
“我们非常高兴能够与格罗方德就应美盛专利的CMOS-MEMS平台展开紧密合作，”应美盛技术及全球制造部副总裁Mo Maghsoudnia说，“双方的密切合作将使我们能够推进超声成像技术的制造，并最终帮助我们实现应用前景广阔的指纹验证解决方案的量产。我们期待双方的合作进一步扩展至更广泛的pMUT器件，不断为我们的客户提供最好的产品。”
“应美盛涉足pMUT证明了我们在氮化铝压电MEMS制造技术方面的突出能力，”格罗方德CMOS业务高级副总裁Gregg Bartlett说，“值得注意的是我们双方的合作现在进一步扩展到了超声波指纹识别等其它工艺技术。”
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