全新6英寸MEMS生产线落成，美泰科技迈向国际一流MEMS企业
2016-11-17 07:46:00   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

全新6英寸MEMS生产线的厂房外景

据麦姆斯咨询报道，近日，美泰电子科技有限公司（以下简称：美泰科技）顺利完成全新6英寸MEMS生产线的建设。这条全球领先的生产线将有助于降低MEMS产品生产成本，同时还会加快现有MEMS应用的普及，以及创新MEMS市场的开发。该MEMS生产线位于河北石家庄市鹿泉区信息产业园，采用全新的厂房设计和先进的MEMS生产设备。

全新的MEMS厂房设计

全新6英寸MEMS生产线的超净间内景

美泰科技的6英寸MEMS生产线总投资超过1亿美元，是一个以生产高端MEMS产品为主的全新自动化产线。该新产线的月产能达到1万片，将成为国内乃至国际上规模最大的高端MEMS传感器生产基地之一。

美泰科技是中国最大的MEMS高端核心芯片供应商，致力于MEMS器件与系统的研发、生产和销售，主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器、汽车MEMS传感器、射频（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。

美泰科技生产的6英寸MEMS晶圆

美泰科技副总经理吝海锋说道：“目前国际上比较成功的MEMS企业大多是IDM企业。美泰科技具有完备的MEMS和ASIC芯片设计、芯片制造和封测以及系统集成能力，是一个典型的IDM企业，并已通过了ISO9001：2008、TS16949:2009、GJB9001B-2009体系认证，为客户提供高品质的产品与服务。美泰科技的MEMS产品应用领域主要有航空航天、汽车、高铁、测试测量、无人机、智能制造、地震、风电、桥梁、工程机械、家电和工业物联网等。”

美泰科技生产的汽车MEMS传感器

面向“高效、环保”发动机系统，美泰科技在国家科技部的支持下开发了MEMS空气流量计、MEMS差压传感器、MEMS歧管压力传感器等用于汽车发动机系统相关系列产品，突破了核心流量、压力、差压芯片的设计、工艺、加工和测试技术，并配套自筹资金形成了年产300万只的批量生产能力，该系列传感器均打破欧美技术垄断，填补了国内空白，申请专利3项，参与制定工信部汽车传感器行业标准2项，实现汽车发动机核心传感器芯片国产化和产业化的突破。

针对桥梁、精密光学平台、高分辨率对地观测卫星、新型飞机和汽车NVH（噪声、振动与平顺性）测试等国家重大工程对高分辨率振动分析仪器的需求，美泰科技突破了MEMS敏感结构芯片、超小体积、高精度敏感结构和ASIC信号读出电路的设计、加工和测试，研发出具有自主知识产权国际领先的3D集成技术的超低频微振MEMS加速度传感器，填补国内空白，已授权发明专利2项，自身主导并与中国计量院合作制定MEMS加速度传感器国内行业标准，IEC47和ISO相关MEMS加速度国际标准，代表产品“MSV1200超低频微振动系列桥梁专用MEMS加速度传感器”获得中国半导体行业协会“第十届（2015年度）中国半导体创新产品和技术”奖。

基于节能减排、绿色能源、可持续发展的理念，美泰科技突破了智能MEMS传感器的芯片设计、MEMS工艺加工、检测电路、集成封装和测试等技术的研究，突破低成本和批量制造等关键技术，研制出国际领先水平的物联网智能燃气表，填补国内空白。具有微型化和智能化、传感器输出信号的数字化和网络化、量程比宽、应用范围广、可靠性高、性价比高、寿命长等优势。该项目申请专利2项，参与制定国内标准2项。

“根据Yole统计数据，未来五年全球MEMS市场的复合年增长率约为9%，全球MEMS出货量的复合年增长率约为13%。可见，MEMS是全球半导体行业最有前景的市场之一。我们建成的全新MEMS生产线将有助于公司加强在这一技术领域的国内领导地位。”吝总满怀希望地憧憬，“此外，国内中小MEMS企业发展面临很多困难，其中一个重要瓶颈就是MEMS代工环节，而美泰科技拥有20多年MEMS制造经验，具备成熟的工艺技术及量产能力，可为客户代工多种MEMS产品，加速中国MEMS产业化进程。”

凭借多年坚持不懈的努力，美泰科技掌握核心技术，并已处于国内领先地位，正努力打造国际一流的MEMS企业。对美泰科技而言，除了突破技术上的固有挑战，就是努力开拓国内外市场，进一步打破国际MEMS巨头对产业的垄断。相信以美泰科技为代表的优秀MEMS企业能早日让我们见证中国“芯”的崛起，闪耀国际舞台。