非硅微纳机电制造领域的工匠——埃德万斯，盛大亮相纳博会
2016-10-27 22:37:01   来源：麦姆斯咨询   评论：0   点击：

10月26日，由中华人民共和国科学技术部、中国科学院、江苏省人民政府主办的“2016传感器与MEMS技术产业化国际研讨会暨科研成果产品展”与“中国国际纳米技术产业博览会（CHInano2016 Conference & Expo）”在苏州国际博览中心同期联合举办。

埃德万斯展台

北京埃德万斯离子束技术研究所有限公司（以下简称：埃德万斯）首次在纳博会上盛大亮相，并全面展示了由其自主研发的设备制成的各类样品，包括蓝宝石基底Si膜、Ti膜、Pt膜及10μm厚铝膜；应用于高频宽带光学通信的AlN膜；应用于可穿戴设备、柔性集成电路的柔性材料镀金属薄膜；应用于高端新型电子元器件的合金薄膜电阻；应用于航天、导弹、新型雷达的高温超导射频器件；以及微机械器件等。

利用埃德万斯自主研发的设备制成的微结构

可弯折柔性集成电路

埃德万斯是国内著名的先进商用离子束技术产品专业制造者，前身为在钱学森提议下成立的航天二院23所“离子束技术、工艺及成套设备系统工程部”。公司创始人为国际知名离子束技术专家刘金声研究员，从上世纪八十年代起，刘金声老师历经38年潜心钻研离子束技术，率先在国内成功研发出离子束技术应用成套设备，成为了国内这一行业的领跑者，为埃德万斯今日的腾飞打下坚实的基础。

埃德万斯多年来一直服务于国内航天、军工两大领域，提供工艺技术和配套设备，为国家重大型号任务做出卓著贡献，如：卫星多轨扫描高分辨率红外探测器；军用的红外成像系统；提供精密惯性制导陀螺生产线，研制光纤陀螺和卫星晶振系统专用离子束系统等。随着综合服务能力的提升，逐渐将服务扩大到中科院、清华、北大等顶尖级的国内科研院校，以及美国麻省理工大学、沙特阿卜杜拉国王科技大学等国外名校。起始至今离子束技术应用设备累计提供了200多台。

埃德万斯发言人殷睿婷女士

同时，在本次国际研讨会上，埃德万斯发言人殷睿婷女士还发表了题为“Application of Ion Beam in Non-silicon MEMS”（离子束技术在非硅MEMS中的应用）的英文演讲。演讲中提到，随着应用场景的复杂化、终端产品的多样化，硅MEMS传感器应用范围越来越受局限，众多国际知名厂商开始注重新材料、新工艺、新技术的开发，国内外MEMS呈现从“硅”到“非硅”的发展趋势。

据麦姆斯咨询报道，在近些年的“固态传感器、执行器及微系统研讨会”上（The Solid State Sensors, Actuators and Microsystems Workshop，是最高水平MEMS新技术的展示舞台，该国际研讨会是MEMS领域最具竞争力的会议之一），出现了令硅材料从业者感到不安的趋势——关于硅材料技术的论文数量逐年降低。在2016年6月的研讨会上，仅有53%的演讲论文是关于硅材料器件的（只要器件中包含了硅材料，无论是作为被动基底还是活性材料）。

固态传感器、执行器及微系统研讨会中硅基器件演讲论文的比例

从过去12年来的演讲主题可以清晰的看出，硅材料微型器件的学术研究热潮已经开始逐渐消退。学术研究人员现在开始专注于开发聚合物和纸基微型器件。利用这些材料开发的器件，不仅工艺环保，而且制作设备简单、成本较低。相对硅材料，它们大幅缩减了研发经费预算。许多聚合物和纸基微型器件的创新都指向了医疗应用，对该领域来说，生物相容性和材料的柔性是基本要求。

面对这一产业发展趋势，埃德万斯自主研发的离子束技术应用设备迎来春天。埃德万斯第四代离子束技术应用系统可加工材料范围广泛，可用于刻蚀加工各种金属、合金、非金属、氧化物、氮化物、碳化物、半导体、聚合物、陶瓷、红外、超导甚至生物组织等各种材料。

埃德万斯现已初步搭建成“自主设备开发+工艺技术研发+项目加速孵化+代工生产基地”的全产业链生态布局。与国内知名加速器企业砹立方合作运营的，由国富资本等多支产业基金对接支持的埃德万斯微纳制造产业加速孵化器即将揭牌。该垂直产业加速孵化器具有高度专注、重度垂直的特点，政府融资加外界资本的介入，将助推企业快速成长。埃德万斯还计划在深圳建设代加工生产基。埃德万斯将一如既往潜心打造设备，加大工艺研发力度，用好产业资本快速孵化，筑造专业代工基地，为我国产业的提升及转型贡献力量。