中关村园区企业牵头制定首项MEMS国际标准发布
2016-09-25 17:16:32   来源：微迷   评论：0   点击：

日前，由中关村园区企业牵头制定的我国第一项微机电系统（MEMS）领域国际标准《IEC 62047-25:2016半导体器件-微机电器件-第25部分：微键合区剪切和拉压强度检测方法》正式发布，标志着我国MEMS领域国际标准化工作实现了零的突破。

MEMS是指关键（部件）特征尺寸在亚微米至亚毫米之间，能独立完成机电光等功能的系统（GB/T 26111），也可称作微电子机械系统、微系统、微机械等。因具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点，使得MEMS在民用和军工方面都显现出了巨大的应用潜力，已经被广泛应用在航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等多个领域，与我们的日常生活息息相关。比如手机中的陀螺仪、喷墨打印机喷头、汽车安全气囊传感器、导弹的惯性器件等等，都离不开MEMS。

MEMS的加工技术主要分为硅工艺和非硅工艺两种，前者在集成电路的基础上得到飞速发展，已经成为MEMS加工的主流技术。长期以来，因美国、日本等工业发达国家在集成电路领域形成的深厚积淀，导致MEMS技术和国际标准一直被其把持，已发布的23项MEMS国际标准中，没有一项由我国制定，我国完全处于跟踪研究状态。近年来，国家对MEMS技术的支持力度不断增加，《“十二五”国家战略性新兴产业发展规划》《国家集成电路产业发展推进纲要》等国家政策规划都明确提出要发展MEMS技术，对我国MEMS技术的发展起到了极大促进作用，使得我国在典型工艺、测试方法方面取得多项技术突破，部分技术已经逐渐与世界先进水平形成“并跑”甚至“领跑”。

2012年，中关村园区内全国MEMS技术标准化技术委员会（SAC/TC 336，以下简称标委会）组织中关村园区有关企业和有关单位，与国内高水平科研机构共同制定发布了GB/T 28277-2012《硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法》，在国内实施取得良好效果。2013年，在中关村园区企业和有关单位的推动下，我国基于该标准提出了相应的国际标准并成功在IEC/TC47/SC47F立项。后期，又先后7次出席IEC/TC47/SC47F国际会议，回复国际意见上百条。经过三年的努力，该标准终于在今年8月正式发布。

IEC 62047-25:2016的发布，在我国MEMS技术和标准化领域具有里程碑式的意义，标志着我国成功探索出了一条参与MEMS领域国际标准化工作的有效路径，提升了我国在MEMS国际标准化工作中的话语权。后期，中关村园区将加大对MEMS国际标准化工作的支持力度，在制定更多高水平MEMS国家标准的同时，争取提出更多基于我国自主技术和标准的MEMS国际标准。

全国MEMS技术标准化技术委员会是负责我国MEMS领域国家标准、行业标准制定和归口管理的技术组织，由国家标准化管理委员会直接领导，秘书处设在中机生产力促进中心。目前，标委会汇聚了一大批国内MEMS领域高水平技术和标准化专家，制定和发布MEMS国家标准11项，还有8项正在制定当中。后期，标委会将组织国内专家加紧研究，在制定更多高水平MEMS国家标准的同时，争取提出更多基于我国自主技术和标准的MEMS国际标准。