天晟“芯”：MEMS领域领先者
2015-10-28 22:31:56   来源：微迷   评论：0   点击：

北京金禾天晟公司成功研制出应用于典型性工业行业的MEMS加速度传感器，具有应用范围广、稳定性好、灵敏度强、噪音小、成品率高、成本较低等特点，填补了国内高端产品的空白，达到了国际先进水平，成为MEMS国际领域领先者。

封装人员在封装MEMS传感器芯片

北京金禾天晟公司研制的MEMS加速度传感芯片采用了新型的结构设计和微加工方法，获得了较低的机械热噪声和和较高的机械灵敏度，在国内外处于领先水平。

MEMS芯片结构示意图（尺寸：6.8*9.6mm）

北京金禾天晟公司开发研制的传感MEMS专用接口集成电路分辨率高达60zF/√Hz，C/V接口电路增益可调节，可与公司研制的MEMS芯片形成标准MEMS加速度传感器产品，也可以作为其他MEMS电容式传感器芯片的配套专用接口集成电路。该MEMS专用接口集成电路在国内外处于技术前沿水平。

专用C2V集成电路示意图（尺寸：3*3mm）

北京金禾天晟公司TS系列MEMS加速度计的特点是噪音极低、全温稳定性优良、重量轻、精度高、可靠性强，特别适用于典型工业行业（惯性导航、能源勘探、地震监测和大型结构监测等）的系统配套应用。

北京金禾天晟公司于2009年开始研发该系列产品，经过多轮现场实验与验证，逐一解决了国内外同类产品存在的全温稳定性差、噪音大等技术难点，并于2015年9月份完成首次航空配套企业的验证交付。

公司于2015年10月28-30日参加中国国际纳米技术产业发展论坛暨纳米技术成果展，地址为苏州国际博览中心6B馆520展位，公司将展出MEMS芯片、MEMS专用接口集成电路和典型工业行业标准MEMS传感器。