Tronics高性能MEMS惯性传感器的出货量达到一百万颗
2013-09-08 20:44:59   来源：微迷   评论：0   点击：

中国微纳技术俱乐部 王懿

经过十多年的努力，Tronics已经出货了一百万颗高性能MEMS惯性传感器，这些产品主要是高性能加速度计和陀螺仪。一百万颗是一个相当大的数字，因为该高端市场每年的出货量通常以千颗计量。近十六年，高性能MEMS惯性传感器已成为Tronics的主要业务，涉及传感器产业链各方面：MEMS设计、MEMS制造、ASIC集成、封装、测试和校准。

高性能MEMS惯性传感器的设计和制造所需的经验与低性能产品（如消费类加速度计和陀螺仪）显著不同。使得Tronics成功的关键技术是采用厚膜SOI材料，很好地控制了高深宽比DRIE，并保证高真空和低应力封装。

除了关键技术，制造高性能MEMS惯性传感器还需要以下经验：（1）严格控制所有工艺步骤，并有能力充分了解失效模式的根本原因；（2）采用相对较少的晶圆工艺，实现高良率，并确保每个测试过的器件100%可追溯；（3）收集大量可靠和稳定的数据，并掌握高性能表征工具的使用。

一百万颗出货量是一个重要的里程碑，不仅仅是因为销售价格高昂（数十美金，甚至数百美金），更重要的是该市场每年出货量不是以百万颗计量，而是千颗。

“公司创立十六年后，这份成绩是非常令人满意的，我要感谢长期信任我们的客户。” Tronics创始人Stephane Renard说道，“Tronics一直服务于高性能MEMS惯性传感器领域，一些应用例子如石油探测、医疗设备、航空仪器和车辆控制。”

“在这些高端市场，MEMS传感器有了显著增长，因为MEMS性能越来越好，正在挑战昂贵的老技术，尤其是陀螺仪。”Tronics说，“我们的优势在于强大的高性能惯性MEMS设计和制造能力，可快速完成客户定制的产品，当然这主要归功于我们广泛的知识储备。Tronics计划继续在定制型高性能惯性MEMS设计和制造领域扮演重要角色。”

Tronics是一个国际化、全方位服务的MEMS制造商。晶圆制造厂坐落于法国和美国，而中国有代表处，Tronics为欧洲、美洲和亚洲的客户提供本地技术支持服务。Tronics服务范围从MEMS设计到量产MEMS制造（包含代工和封测）。成立于1997年的Tronics在MEMS研发、制造、封装方面已拥有十六年经验，涉及产品包括加速度计、陀螺仪、微泵、压力传感器、MEMS开关、生物传感器等。