苏州敏芯（MEMSensing）：全产业链本土化整合的先锋
2013-01-16 18:14:15   来源：与非网 岳浩   评论：0   点击：

五年前，说起陀螺仪、加速度计、硅麦克风，估计没多少人知道这是什么东西，但是到今天，这类器件已经成为了智能手机、智能平板的标配，我们把它们统称为MEMS器件。可以说MEMS器件的出现颠覆了我们对传统传感器的看法，它将微机械和微电子完美的融合到了一起，体积也许比指甲壳还小，但是完成的功能却超乎想象。随着智能手机的普及，MEMS器件也得到了井喷式的发展，当然，这还仅仅是开始……

通常我们习惯把这种行业称为朝阳产业，但比起国外企业，国内的MEMS产业还只是刚刚起步，比起销售额动辄上亿的其他半导体产业来说还是差距巨大，但是整体的发展还是非常喜人的。这次就请到了苏州敏芯的首席运营官张辰良先生，请他来聊一聊目前国内MEMS产业的现状。

坚持本土化的全产业链整合

苏州敏芯是一个专业生产MEMS硅麦克风的企业，也是目前国内为数不多的基于MEMS技术的传感器件与方案提供商。仅仅在硅麦传感芯片上苏州敏芯已经有了6项专利，而在封装方案上苏州敏芯具有独特封装设计和自有知识产权的专利有8项。当然谈到这些成绩时，张总不免有一些苦楚，因为早在06年苏州敏芯就已经发布了硅麦的工程样片，但直到今年硅麦产品才实现量产，这其中的波折也只有当事人才能够体会。

国内整个MEMS产业在08年左右才起步，而初期很多国内的Foundry厂根本就没有专门针对MEMS的产品线，这就使得MEMS产品的流片变得异常繁琐，也许这家Foundry厂能够完成几步工序，而另外几步又必须到跑到其他Foundry厂去完成，这样的情况使得产品在国内根本就不可能量产；国外Foundry厂有专门的MEMS产品线，但是高昂的流片成本使得国内的MEMS芯片与国外大的半导体厂商比根本就没有优势，这样的情况持续了数年。

但随着像苏州敏芯这样的本土企业在行业内的不断努力，也随着MEMS产品市场的不断扩大，很多Foundry厂也看到了MEMS未来发展的巨大潜力，加上政府对MEMS产业的大力扶持，一些Foundry厂也陆续推出了专门针对MEMS产品的生产线。随着无锡华润MEMS线的投入生产，苏州敏芯的硅麦产品也率先实现了量产。

当然，产业链的整合不仅仅是体现在上游的芯片生产，在中游的封装测试环节，苏州敏芯同样也是在与国内的相关厂商紧密合作。很多MEMS产品封装与传统的半导体产品不一样，这就需要芯片厂向封装厂提出各种封装的要求，而芯片封装成成品后能不能用，产品性能指标如何，这就必须做相应的功能测试，而目前国外的专业测试设备相当昂贵，对于国内MEMS的初创企业来说根本就是无力承担，所以苏州敏芯采用与国内专业的设备厂商合作，由苏州敏芯提出具体的测试参数，设备厂商来实现的合作方式，实现半定制化甚至全定制化的测试设备研发。

下游应用环节，苏州敏芯也在积极与一些本土MCU厂商合作，推出基于苏州敏芯MEMS的整体产品解决方案。下一阶段，苏州敏芯会将ASIC（信号处理电路）集成在目前的硅麦产品中，到时客户在产品开发时将无需对MEMS采集的原始电信号作外围的电路处理，直接就可以使用MEMS输出信号，设计将更加便利。

可以说苏州敏芯倡导的本土化全产业链整合，虽然步伐较慢，走得也比较累，但对于培植本土MEMS产业链，实现上中下游合作伙伴和谐共生，具有重要意义，对于本土MEMS产业的发展意义深远。

SENSA工艺带来产品质的飞跃

当然除了硅麦，压力传感器也是苏州敏芯的主打产品。目前在芯片方面苏州敏芯有8项专利，其中不得不提的是其引以为傲的SENSA制程工艺，该项技术已经在中国大陆与美国申请了专利，并且成功获得了授权。

SENSA工艺中文翻译过来就是密封气腔体之上的硅外延层工艺，与传统的硅微加工薄膜相比，SENSA工艺制成的薄膜不需要键合工艺，因此理论上薄膜是零应力状态，完全消除了传统工艺中应力带来的芯片特性的离散性和漂移。而该工艺给芯片本身带来的也是一个质的飞跃，传感芯片的尺寸可以更小、精度可以更高、可靠性将大大增强、可加工性也是大大增加，同样价格将更具竞争力。

目前苏州敏芯的压力传感器压力范围从6 KPa到50 MPa，产品涉及医用的电子血压计、液位检测、汽车数字胎压计、石油管路的压力传感等等，面向消费、医疗、汽车以及工业控制等多个领域。未来内置ASIC电路调理信号输出的传感技术开发、先进的二次封装（比如TMAP传感系列）以及微熔应变片传感工艺的研发、量产将是苏州敏芯压力传感器的主要发展方向。

对于国内MEMS产业而言，目前还只是刚刚起步，比起国外半导体巨头，苏州敏芯还差的很远。以硅麦芯片为例，70%左右的市场份额还是被楼氏电子占据，苏州敏芯抢到的蛋糕还很小。但是放眼全球，MEMS市场还有巨大的发展空间，而且MEMS与其他半导体产业不同，技术的不断进步能够使MEMS产品涉入到越来越多的领域当中，这个产业的蛋糕会越做越大。相信本土的MEMS企业在未来的发展中将大有可为，也祝愿像苏州敏芯这样的本土先锋能越走越好。