德国弗劳恩霍夫研究所搭建MEMS超声波换能器平台
2021-06-02 22:14:16   来源:麦姆斯咨询   评论:0   点击:

据麦姆斯咨询报道,为了支持中小型企业的开发和应用,德国弗劳恩霍夫协会旗下三家研究所正在联合搭建一个MEMS超声波换能器(MUT)平台。

纳米静电驱动的超声波换能器

纳米静电驱动的超声波换能器

据麦姆斯咨询报道,为了支持中小型企业的开发和应用,德国弗劳恩霍夫协会旗下三家研究所正在联合搭建一个MEMS超声波换能器(MUT)平台。

这三家研究所将与产业界合作伙伴共同开发各种MEMS超声波换能器件并试生产。

电容式MEMS超声波换能器(CMUT)

电容式MEMS超声波换能器(CMUT)

该项目由弗劳恩霍夫应用研究促进协会(Fraunhofer Gesellschaft)提供资金,专门面向中小型企业。

MEMS超声波换能器阵列

MEMS超声波换能器阵列

近年来,超声波换能器已成为很多工业、医疗和移动应用的基础器件,例如距离测量、微定位、手势控制、碰撞传感、内窥镜检查和超声波检查等。目前,这些专用的超声波换能器大多由中小型企业自行开发和制造。

如今的MEMS超声波换能器可以实现高度紧凑的传感系统,提供更高的灵敏度,还可以利用阵列实现成像或指向等应用。

此外,还可以避免使用对健康和环境有害的材料。不过,开发这些基于半导体的超声波换能器通常成本很高,这对于许多中小型企业来说往往难以承受。

用于超声成像的压电MEMS超声波换能器(PMUT)

用于超声成像的压电MEMS超声波换能器(PMUT)

“我们与弗劳恩霍夫硅技术研究所ISIT和弗劳恩霍夫电子纳米系统研究所ENAS一起,希望共同搭建一个MEMS超声波换能器平台。利用模块化的方法,我们可以快速高效地适应和开发创新的超声波系统,以满足特定的应用。”弗劳恩霍夫光子微系统IPMS研究所的Arg Amelung说,“通过整合三家研究所的能力,我们创建了一个高效的联盟,不仅可以利用技术组合确保广泛的应用,还拥有能够进行试生产的基础设施。这为学术研究和产业化发展搭建了桥梁,为中小企业提供了一个有吸引力的整体方案。”

作为MEMS超声波换能器平台开发的一部分,将涉及三个核心中小企业研究领域:超声波换能器制造技术、人机交互技术以及医疗应用技术。

弗劳恩霍夫硅技术研究所ISIT“MEMS应用”业务部门负责人Fabian Lofink博士说:“我们相信,MEMS超声波换能器的关键特性、小型化、灵敏度以及阵列功能,将在这里创造显著的附加值。”

延伸阅读:

《压电能量收集和传感-2019版》 

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