最新MEMS和传感器技术 @ 2014慕尼黑上海电子展
2014-03-19 08:24:35   来源:微迷   评论:0   点击:

2014年慕尼黑上海电子展于3月18日正式拉开帷幕,麦姆斯咨询(MEMS Consulting)带领各位一起领略本次展会上最新发布的MEMS和传感器技术。

2014年慕尼黑上海电子展于3月18日正式拉开帷幕,麦姆斯咨询(MEMS Consulting)带领各位一起领略本次展会上最新发布的MEMS和传感器技术。

超声波传感器 @ 村田制作所

麦姆斯推荐指数:★★★★★

下一代的变革性人机交互技术即将诞生,村田制作所和世界超声波非接触式手势控制领军者Elliptic Labs一起合作将非触屏的魔杖带入电子设备。村田制作所的超声波传感器通过超小型SMD实现高声压,封装尺寸为5.2 x 5.2 x 1.2 mm,最适合用于3D手势识别,也可用于测量与目标物体间的距离。超声波技术使用MEMS麦克风和超声波传感器来追踪物体运动,就好比雷达一般。超声波非触屏手势技术比其他摄像头技术都要节能95%以上,之所以能够吸引对电池耗能具有一定要求的便携式设备制造商。预计2014年下半年,搭载超声波传感器的平板电脑就会面世。

村田制作所的超声波传感器

村田制作所的超声波传感器

以多点接收反射回来的超声波便可计算出目标的3D位置和动作

以多点接收反射回来的超声波便可计算出目标的3D位置和动作

3D AMR传感器 @ 村田制作所

麦姆斯推荐指数:★★★

村田制作所展示了世界首创能够进行360度全方位同感度磁场检测的3D AMR传感器MRMS591A。目前的传感器因为受到感度指向性的限制,要进行全方位的磁场检测非常困难,为了进行三维传感必需要组合3~6个传感器,但是使用本传感器的话,只要一个就能够起到相同的作用,因此也能够为客户设计的省空间化和降低成本作出贡献。3D AMR传感器封装尺寸为1.45 x 1.45 x 0.55 mm,可检测电力、瓦斯、自来水的仪表、安全装置、娱乐机的不正常磁场。

村田制作所世界首创3D AMR传感器

村田制作所世界首创3D AMR传感器

组合环境传感器 @ 博世集团

麦姆斯推荐指数:★★★★★

在本次展会中,博世展示了全新的BME280组合传感器,这是全球首款在单个封装中集合了压力、湿度和温度传感器的一体化环境监测传感器。这款先进的传感器尺寸为2.5 x 2.5 x 0.93 mm,专为诸如室内导航、住宅自动控制、个性化气象站、创新运动与健身以及远程医疗等高性能应用而开发。一直以来,博世被公认为打造微机械传感器及开发MEMS的领军企业,每年生产超过10亿个的MEMS传感器。

博世BME280环境传感器

博世BME280环境传感器

远红外焦平面阵列 @ 博世集团

麦姆斯推荐指数:★★★★★

本次展示的SMO130是基于悬浮单晶硅热二极管的非制冷远红外传感器阵列,单片集成红外传感器阵列和读出集成电路(ROIC),82 x 62 像素,100微米的像素间距,NETD:200 mk @ f/1.0 光圈(300K,9Hz),帧率9Hz(热时间常数),模拟视频输出。应用领域包括热成像、安全和监控、楼宇自动化、能效管理、人员检测。封装:传感器阵列芯片大小:11 mm x 11 mm,传感器被安装在一个38 mm x 25 mm带有SMD连接器的PCB上。客户获益:(1)由标准高量产APSM-MEMS工艺和晶圆级真空封装而形成的极具成本效益的传感器理念;(2)百万倍证实了MEMS制造工艺;(3)大批量生产能力。价格约为40~50欧元(300~400人民币)。

博世远红外焦平面阵列SMO130

博世远红外焦平面阵列SMO130

13轴传感器平台 @ 罗姆集团

麦姆斯推荐指数:★★★★

本次展示的13轴传感器平台包括传感器中枢(Sensor Hub)、9轴惯性传感器(加速度计、陀螺仪和磁力计)和4轴光传感器(环境光传感器、接近传感器、紫外线传感器和温度传感器),支持Windows 8操作系统,适合遥控器、平板电脑、智能手机、汽车导航、可穿戴设备等应用。此外,罗姆集团还拥有压力传感器、电容式触摸屏、霍尔传感器、红外探测器等丰富的“感知”器件。

罗姆13轴传感器平台

罗姆13轴传感器平台

紫外线传感器 @ LAPIS(罗姆集团)

麦姆斯推荐指数:★★

本次展示的紫外线传感器ML8511-00FC / ML8511-00NA采用世界首创的基于LAPIS独有的SOI技术,低工作电流(Typ.:300µA)以及低待机电流(Typ.:0.1µA),芯片尺寸为2.1 x 1.8 x 0.7 mm(正在开发TSV-CSP封装),封装尺寸为:4.0 x 3.7 x 0.73 mm,最适用于智能手机、平板电脑、便携式计量仪、健康护理和可穿戴设备。

LAPIS紫外线传感器ML8511

LAPIS紫外线传感器ML8511

红外线图像传感器 @ LAPIS(罗姆集团)

麦姆斯推荐指数:★★★★★

本次展示的红外传感器ML8540 / ML8540WD是2K像素级分辨率的热电堆图像传感器,具有非制冷方式、小型化、低功耗等优点,融合MEMS + CMOS技术,适用于HEMS、BEMS等节能用途、安全和健康护理监测、游戏和运动传感。工作范围:-30~85℃,测量范围:-30~300℃,读出速度:6帧/秒。供货方式:晶圆或者器件。每个器件价格小于5美金。

LAPIS红外线图像传感器ML8540 / ML8540WD

LAPIS红外线图像传感器ML8540 / ML8540WD

ML8540 / ML8540WD可轻松获得高灵敏度、高分辨率图像

ML8540 / ML8540WD可轻松获得高灵敏度、高分辨率图像

血氧传感器 @ 精量电子

麦姆斯推荐指数:★★★

本次展示的ELM-4000系列血氧传感器采用世界领先的硅平面扩散型光电二极管技术,专业生产医疗专用光电元件,包括双波长LED发射器和高灵敏度光敏二极管接收器。产品精度高,性能稳定,根据峰值波长特性,广泛应用于脉搏血氧仪等医疗产品。同时,精量电子可以根据客户的要求定制产品,承接OEM血氧探头生产。产品包括重复使用探头,软指套探头,以及各种类型的一次性探头。

精量电子ELM-4000系列血氧传感器

精量电子ELM-4000系列血氧传感器

金融磁头 @ 多维科技

麦姆斯推荐指数:★★★

本次展示的金融磁头(TMR磁性识别传感器)是为纸币、银行票据、证券磁特性的检测、识别所研制的新型纯阻抗验钞磁头,TMR磁阻优异的弱磁检测能力和专门设计的偏置磁钢具有的凹陷结构,使其具有高灵敏度、信噪比和极佳的检测间隙特性,对如安装的倾斜、偏心以及对沿垂直(z轴)方向的振动或抖动量不敏感。2014年1月,多维科技的金融磁头进入国内市场,年产量达到100万只。

多维科技的金融磁头

多维科技的金融磁头

三合一光传感器 @ 芯晨科技

麦姆斯推荐指数:★★

本次展示的SLI3100三合一光传感器集成了环境光检测、接近检测和红外发光二极管,是专门针对智能终端的显示自适应调节、省电、情景模式识别等应用进行研发的,可广泛应用于智能手机、平板电脑和可穿戴设备。该款产品具有小尺寸、低功耗(200 uA @ 工作电流,6 uA @ 休眠模式)、高灵敏度、高稳定性等优点。产品封装尺寸有两种:标准型3.94 x 2.36 x 1.35 mm,超薄型3.94 x 2.36 x 1.10 mm。

芯晨科技的SLI3100三合一光传感器

芯晨科技的SLI3100三合一光传感器

高度计/压力传感器 @ 全磊微机电

麦姆斯推荐指数:★

本次展示的MIS-7300系列智能压力传感器(高度计)及其演示板,由压阻式MEMS和ASIC构成,封装为LGA 8-pin 4.5 x 4.0 x 1.1 mm(尺寸较大),压力范围是300~1100 hpa。其中,ASIC包括16位AD转换器和嵌入式512位OTP内存。压力传感器已在出厂前做校正与温度补偿,温度补偿系数被储存在OTP内存中,用户通过外部微处理器执行温度补偿,外部微处理器依据储存在OTP内存中的系数为MIS-7300读取原始输出数据和做简易的计算。

MIS-7300系列智能压力传感器

全磊MIS-7300系列智能压力传感器

LTE滤波器 @ TriQuint

麦姆斯推荐指数:★★★

随着LTE网络的部署和Wi-Fi的普及,对高性能滤波器的需求呈现激增之势。新的4G频带通常紧邻对Wi-Fi和蓝牙服务的现有频带,而且防护频带非常少。TriQuint的体声波 (BAW) 和温度补偿 (TC-SAW) 技术有助于在世界上多个区域的许多不同频带上运行的4G智能手机,同时实现语音和数据服务。TriQuint展示了其最新的高性能声波滤波器,目前已被三星、LG、HTC和摩托罗拉移动等4G智能手机采用。自2006年以来,TriQuint的SAW滤波器的出货量超过20亿,BAW滤波器的出货量则接近10亿。

TriQuin LTE 分集接收滤波器

TriQuin LTE 分集接收滤波器

RF MEMS滤波器 @ 美泰微系统/天英微系统

麦姆斯推荐指数:★★

全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、TSV(硅通孔)MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片,拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能,产品频率范围覆盖2~50 GHz,可提供带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。目前,已经开发近千种MEMS滤波器产品,并可根据用户需求定制开发。

美泰RF MEMS滤波器

美泰RF MEMS滤波器

此外,国内其它MEMS企业也有不俗进展,明皜传感展示了空鼠和人体姿态解决方案;矽睿科技展示了三轴AMR磁力计;纳芯微电子推出了多款MEMS ASIC产品,并展示了加速度计和压力传感器演示板;智恒微电子展示了光电/计数传感器,推出了单片集成压力传感器方案;罕王微电子推出了工业应用压力传感器和空气流量计,并且建设完封装平台。

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