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<pubDate>Wed, 08 Jul 2026 06:30:40 +0800</pubDate>
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<description>麦姆斯咨询介绍各种MEMS执行器的市场现状。</description>
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<title>执行器</title>
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<title>执行器</title>
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<description>麦姆斯咨询介绍各种MEMS执行器的市场现状。</description>
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<title><![CDATA[意法半导体：多个MEMS微镜的同步技术及应用]]></title>
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<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0705/thumb_150_150_20260705052557101.jpg border='0' /><br />这项研究展示了一种同步驱动多个低Q值谐振式MEMS微镜的方法。该解决方案使得投影显示和3D传感应用能够突破MEMS微镜的机械限制，通过简单增加MEMS微镜数量来扩展扫描视场角，同时保持视频源流复制或3D点云渲染的架构简洁性。]]></description>
<pubDate>2026-07-05 17:23:34</pubDate>
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<title><![CDATA[准静态压电MEMS微镜扫描角优化方案：多环形驱动器与交叉电极布局]]></title>
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<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0705/thumb_150_150_20260705043751273.jpg border='0' /><br />台湾国立清华大学的研究人员开发了一种新型准静态压电MEMS微镜，其具有多环形驱动器，旨在通过多个扫描角度累积来实现角度优化。]]></description>
<pubDate>2026-07-05 16:36:19</pubDate>
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<author>https://www.mems.me</author>
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<title><![CDATA[谐振式压电MEMS微镜：兼具宽扫描角和大镜面，助力车载激光雷达应用]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202607/14071.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0704/thumb_150_150_20260704045314524.jpg border='0' /><br />这项研究通过对MEMS微镜的结构进行优化设计，成功开发出一种兼具宽扫描角和大镜面尺寸特征的谐振式压电MEMS微镜。器件整体性能可充分满足车载激光雷达对MEMS激光束扫描技术的应用要求。]]></description>
<pubDate>2026-07-04 16:50:48</pubDate>
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<title><![CDATA[英飞凌MEMS微镜助力基于激光束扫描的车载投影模组落地]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202607/14058.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0701/thumb_150_150_20260701025945766.jpeg border='0' /><br />全球半导体和传感器解决方案领导者英飞凌（Infineon）与全球汽车照明领域的领导者法雷奥（Valeo）展开合作，共同开发集成MEMS激光束扫描（LBS）技术的短距离地面投影模组。]]></description>
<pubDate>2026-07-01 14:53:43</pubDate>
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<title><![CDATA[谐振式MEMS微镜的反相参数激励与快速启动特性研究]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202606/14056.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0628/thumb_150_150_20260628034631101.jpg border='0' /><br />本文分析了一种用于谐振式MEMS微镜的反相参数激励方法。该方法通过分别驱动位于MEMS微镜左右两侧的两个平面外（out-of-plane）静电梳齿驱动器，实现了从零振幅状态快速且可靠的启动。]]></description>
<pubDate>2026-06-28 15:44:15</pubDate>
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<title><![CDATA[用于可穿戴激光雷达的MEMS微镜]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202606/14055.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0628/thumb_150_150_20260628031534416.jpg border='0' /><br />对用于可穿戴激光雷达系统的MEMS微镜的探索已经证明它们在结合紧凑性、能效和精确光学扫描方面的巨大潜力。这些MEMS微镜，特别是那些在在谐振频率下工作的微镜，提供了性能和低能耗的最佳平衡，使其成为可穿戴应用的理想选择。]]></description>
<pubDate>2026-06-28 15:12:19</pubDate>
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<title><![CDATA[基于MEMS的硅光阀，突破传统光调制器瓶颈]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202606/14053.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0627/thumb_150_150_20260627112902909.jpg border='0' /><br />这种基于MEMS技术的光调制解决方案的实用性和潜力，从根本上源于现有硅光阀的性能优势。硅光阀不仅具备传统MEMS光调制器所特有的可制造性与鲁棒性，还能实现与孔径尺寸无关的兆赫兹级切换速度；这种灵活性与可配置性对光学系统设计人员极具吸引力。]]></description>
<pubDate>2026-06-27 11:26:51</pubDate>
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<title><![CDATA[高分辨率静电驱动MEMS可调谐滤波器，面向长波红外成像和传感应用]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202606/14052.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0627/thumb_150_150_20260627085403631.jpg border='0' /><br />研究团队通过光学-机械协同设计策略提出了一种适合长波红外波段的静电驱动MEMS-FPTF，可实现高光谱精细度和稳定的大行程驱动。该MEMS可调谐滤波器为长波红外光谱滤波提供了一种紧凑、低功耗和高精度的解决方案，在矿物识别、自主感知和远程光谱传感领域具有广阔的应用前景。]]></description>
<pubDate>2026-06-27 08:48:55</pubDate>
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<title><![CDATA[Menlo推出业界首款宽带射频MEMS开关平台，面向新一代射频与光通信应用]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202606/14048.html]]></link>
<description><![CDATA[高性能MEMS开关解决方案领域的领导者Menlo Microsystems宣布推出业界首款覆盖直流（DC）至70 GHz频段的宽带射频（RF）MEMS开关平台：MM5800。]]></description>
<pubDate>2026-06-25 11:21:53</pubDate>
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<title><![CDATA[高扩展性硅光MEMS开关，采用机械-光学协同设计]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202606/14044.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0620/thumb_150_150_20260620031829362.jpg border='0' /><br />着制造工艺的进一步优化以降低波导损耗，该硅光MEMS开关阵列的规模有望扩展至128 × 128，展现出在光子互连、可编程集成光路、光子现场可编程门阵列（FPGA）、光学神经网络（ONN）、量子信息处理器以及焦平面开关阵列（FPSA）激光雷达（LiDAR）等领域的巨大应用潜力。]]></description>
<pubDate>2026-06-20 15:08:08</pubDate>
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<author>https://www.mems.me</author>
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<title><![CDATA[Cenfire推出新款硅基MEMS开关，面向半导体测试与测量应用]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202606/14025.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0612/thumb_150_150_20260612090718503.jpg border='0' /><br />CF2140是一款四通道单刀单掷（SPST）MEMS开关解决方案，旨在帮助半导体测试机构应对器件速度更快、集成度更高、结构更复杂所带来的测试挑战，从而降低开关系统复杂度，提高系统集成密度并降低测试成本。]]></description>
<pubDate>2026-06-12 21:05:27</pubDate>
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<title><![CDATA[清华大学提出MEMS扫描镜抗疲劳性能与寿命优化新方法]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202605/13992.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0523/thumb_150_150_20260523113104369.jpg border='0' /><br />为了解决MEMS扫描镜中因疲劳引起的性能退化问题，近日，清华大学精密仪器系研究团队提出了一种耦合参数分布的结构优化框架，用于提升MEMS扫描镜的抗疲劳能力并延长其使用寿命。]]></description>
<pubDate>2026-05-23 11:28:35</pubDate>
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<title><![CDATA[SiTime新款MEMS温度补偿振荡器助力AI数据中心GPU优化]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202605/13979.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0516/thumb_150_150_20260516020948133.jpg border='0' /><br />SiTime发布了其最新款基于MEMS技术的温度补偿振荡器（TCXO）。这款新产品被命名为Elite 2 Super-TCXO，据称可通过减少AI计算集群中的时间同步误差来提升GPU的利用率。]]></description>
<pubDate>2026-05-16 14:07:16</pubDate>
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<title><![CDATA[全硅多点二维光束扫描MEMS微镜：MEMS-DOE架构同时实现激光分束和操控]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202605/13976.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0510/thumb_150_150_20260510093445341.jpg border='0' /><br />研究人员提出将衍射结构直接集成到MEMS扫描器的微镜上，进而构建了一种紧凑型、高性价比且高性能的新型激光雷达系统，该系统仅需一个激光源和一个集成的MEMS-DOE器件即可运行。]]></description>
<pubDate>2026-05-10 08:59:52</pubDate>
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<title><![CDATA[面向入耳式应用的高性能压电MEMS扬声器设计与制造]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202605/13975.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0510/thumb_150_150_20260510083923404.png border='0' /><br />研究人员提出一种面向入耳式应用的新型高性能压电MEMS扬声器。该器件基于锆钛酸铅（PZT）压电薄膜驱动的薄板结构，并在振膜中引入微米级狭缝阵列，这些狭缝有助于提高振膜的机械柔顺性，并减小扬声器前后之间的“声短路”现象。]]></description>
<pubDate>2026-05-10 08:22:11</pubDate>
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<title><![CDATA[可调谐MEMS-VCSEL的高对比度光栅优化]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202605/13973.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0508/thumb_150_150_20260508051008268.jpg border='0' /><br />丹麦技术大学重点研究了用于MEMS-VCSEL的高对比度光栅（HCG）设计与优化。该优化工作旨在抑制因忽略入射角影响时产生的反射率下降，从而实现更宽的反射率带宽。]]></description>
<pubDate>2026-05-08 17:07:42</pubDate>
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<title><![CDATA[天津理工在压电MEMS扬声器领域获进展，提高声压级和可靠性]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202602/13859.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0215/thumb_150_150_20260215103843751.jpg border='0' /><br />天津理工大学赵金石教授团队提出一种基于柔性支撑层的固支梁-悬臂式压电MEMS扬声器，其声压级可与传统三种基于硅支撑层的压电MEMS扬声器相媲美，并展现出良好的可靠性。]]></description>
<pubDate>2026-02-15 10:36:19</pubDate>
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<title><![CDATA[全球首个基于MEMS开关的继电器电源面板通过热切换验证]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202601/13826.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0122/thumb_150_150_20260122033711210.jpg border='0' /><br />此次热切换验证是美国海军10兆瓦先进断路器开发项目中首个（也是全球首个）基于MEMS开关的继电器电源面板的验证成果。]]></description>
<pubDate>2026-01-22 15:35:16</pubDate>
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<title><![CDATA[SonicEdge授权调制超声波IP，加速MEMS扬声器市场发展]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202601/13814.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0114/thumb_150_150_20260114023739474.jpg border='0' /><br />SonicEdge正以基于成熟硅技术的革命性MEMS扬声器引领音频行业发展。作为先进音频生成领域的先驱者，SonicEdge致力于打造突破性的音频解决方案，在极其小的空间内实现更强大的性能。]]></description>
<pubDate>2026-01-14 14:35:03</pubDate>
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<title><![CDATA[综述：MEMS电磁执行器的最新设计与应用进展]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202512/13787.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1223/thumb_150_150_20251223113204147.jpg border='0' /><br />本文对MEMS电磁执行器的最新研究进展进行了系统综述，重点阐述了其核心工作原理，包括洛伦兹力机制以及磁吸引或排斥机制，并分析了当前最先进的MEMS制造技术，例如先进微加工工艺、增材制造方法以及创新材料的应用。]]></description>
<pubDate>2025-12-23 11:36:34</pubDate>
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