Sun, 06 Sep 2026 07:39:24 +0800 Sun, 06 Sep 2026 07:39:24 +0800 https://www.mems.me 麦姆斯咨询介绍各种MEMS执行器的市场现状。 https://www.mems.me https://www.mems.me 麦姆斯咨询介绍各种MEMS执行器的市场现状。 https://www.mems.me https://www.mems.me 60 https://www.mems.me Sun, 06 Sep 2026 07:39:24 +0800
MEMS芯片级散热技术的开创者xMEMS发布了全球最小的MEMS风扇：XMC-1200。XMC-1200专为智能眼镜、AR和XR设备设计，能够在传统风扇无法容纳的纤薄、空间受限的设备结构中实现定向主动散热功能。]]> 2026-07-26 10:08:36 https://www.mems.me
浙江师范大学和浙江大学的研究团队通过将相变薄膜与压电MEMS微镜异质集成，展示了一种高效可调谐的超构波片（meta-waveplate）。这种异构集成架构标志着自适应超构光学领域的重大进展，为动态可重构且高度紧凑的光子系统开辟了通用途径。]]> 2026-07-18 14:57:32 https://www.mems.me
研究人员设计并实现了一种压电MEMS扫描镜，旨在降低光束转向应用中的非线性和应力。该研究的创新之处在于采用带有传动弹簧的混合驱动器替代双端固定驱动器。]]> 2026-07-18 14:44:01 https://www.mems.me
本文提出了一种全新的机械耦合串联MEMS微镜架构。借助机械耦合实现了微镜的双向运动，测得的传输时间曲线显示两个微镜的闭合电压一致。]]> 2026-07-18 13:56:37 https://www.mems.me
英飞凌（Infineon）和格拉茨理工大学对采用静电驱动的二维（2D）谐振式MEMS微镜进行了施加应力条件下的可靠性测试，以确定MEMS微镜在何种应力水平以及经历多长时间后，其功能开始受到影响或发生失效断裂。]]> 2026-07-18 09:22:15 https://www.mems.me
南京理工大学机械工程学院等机构的联合研究团队提出了一种具有机械锁存功能的新型电热驱动MOEMS光开关，适用于高功率光应用场景。该光开关设计采用光纤直接耦合替代微镜结构，有效减少了散射与热损伤问题，显著提升了对高能激光的承载能力。]]> 2026-07-14 17:09:44 https://www.mems.me
研究人员设计了一款集成压阻角度传感器的MEMS振镜，能够在宽泛的气体浓度范围内线性采集光声信号。为进一步增强气体检测灵敏度，该研究采用了光声光谱双谐振系统。最后，在光声光谱系统中引入所制备的MEMS振镜实现了二氧化碳检测。]]> 2026-07-12 10:19:07 https://www.mems.me
台湾国立清华大学开发了一种单片集成、电磁驱动的双轴MEMS扫描镜，具备闭环角度控制功能。与以往设计相比，该器件在长期扫描角稳定性方面实现了数量级的提升。通过将双轴角度传感与闭环反馈相结合，所提出的MEMS扫描镜实现了优异的角度稳定性。]]> 2026-07-12 09:51:56 https://www.mems.me 2026-07-08 22:41:46 https://www.mems.me
这项研究展示了一种同步驱动多个低Q值谐振式MEMS微镜的方法。该解决方案使得投影显示和3D传感应用能够突破MEMS微镜的机械限制，通过简单增加MEMS微镜数量来扩展扫描视场角，同时保持视频源流复制或3D点云渲染的架构简洁性。]]> 2026-07-05 17:23:34 https://www.mems.me
台湾国立清华大学的研究人员开发了一种新型准静态压电MEMS微镜，其具有多环形驱动器，旨在通过多个扫描角度累积来实现角度优化。]]> 2026-07-05 16:36:19 https://www.mems.me
这项研究通过对MEMS微镜的结构进行优化设计，成功开发出一种兼具宽扫描角和大镜面尺寸特征的谐振式压电MEMS微镜。器件整体性能可充分满足车载激光雷达对MEMS激光束扫描技术的应用要求。]]> 2026-07-04 16:50:48 https://www.mems.me
全球半导体和传感器解决方案领导者英飞凌（Infineon）与全球汽车照明领域的领导者法雷奥（Valeo）展开合作，共同开发集成MEMS激光束扫描（LBS）技术的短距离地面投影模组。]]> 2026-07-01 14:53:43 https://www.mems.me
本文分析了一种用于谐振式MEMS微镜的反相参数激励方法。该方法通过分别驱动位于MEMS微镜左右两侧的两个平面外（out-of-plane）静电梳齿驱动器，实现了从零振幅状态快速且可靠的启动。]]> 2026-06-28 15:44:15 https://www.mems.me
对用于可穿戴激光雷达系统的MEMS微镜的探索已经证明它们在结合紧凑性、能效和精确光学扫描方面的巨大潜力。这些MEMS微镜，特别是那些在在谐振频率下工作的微镜，提供了性能和低能耗的最佳平衡，使其成为可穿戴应用的理想选择。]]> 2026-06-28 15:12:19 https://www.mems.me
这种基于MEMS技术的光调制解决方案的实用性和潜力，从根本上源于现有硅光阀的性能优势。硅光阀不仅具备传统MEMS光调制器所特有的可制造性与鲁棒性，还能实现与孔径尺寸无关的兆赫兹级切换速度；这种灵活性与可配置性对光学系统设计人员极具吸引力。]]> 2026-06-27 11:26:51 https://www.mems.me
研究团队通过光学-机械协同设计策略提出了一种适合长波红外波段的静电驱动MEMS-FPTF，可实现高光谱精细度和稳定的大行程驱动。该MEMS可调谐滤波器为长波红外光谱滤波提供了一种紧凑、低功耗和高精度的解决方案，在矿物识别、自主感知和远程光谱传感领域具有广阔的应用前景。]]> 2026-06-27 08:48:55 https://www.mems.me 2026-06-25 11:21:53 https://www.mems.me
着制造工艺的进一步优化以降低波导损耗，该硅光MEMS开关阵列的规模有望扩展至128 × 128，展现出在光子互连、可编程集成光路、光子现场可编程门阵列（FPGA）、光学神经网络（ONN）、量子信息处理器以及焦平面开关阵列（FPSA）激光雷达（LiDAR）等领域的巨大应用潜力。]]> 2026-06-20 15:08:08 https://www.mems.me
CF2140是一款四通道单刀单掷（SPST）MEMS开关解决方案，旨在帮助半导体测试机构应对器件速度更快、集成度更高、结构更复杂所带来的测试挑战，从而降低开关系统复杂度，提高系统集成密度并降低测试成本。]]> 2026-06-12 21:05:27 https://www.mems.me