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<pubDate>Thu, 09 Apr 2026 05:13:04 +0800</pubDate>
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<description>麦姆斯咨询介绍各种MEMS执行器的市场现状。</description>
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<title>执行器</title>
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<title>执行器</title>
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<title><![CDATA[天津理工在压电MEMS扬声器领域获进展，提高声压级和可靠性]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202602/13859.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0215/thumb_150_150_20260215103843751.jpg border='0' /><br />天津理工大学赵金石教授团队提出一种基于柔性支撑层的固支梁-悬臂式压电MEMS扬声器，其声压级可与传统三种基于硅支撑层的压电MEMS扬声器相媲美，并展现出良好的可靠性。]]></description>
<pubDate>2026-02-15 10:36:19</pubDate>
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<title><![CDATA[全球首个基于MEMS开关的继电器电源面板通过热切换验证]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202601/13826.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0122/thumb_150_150_20260122033711210.jpg border='0' /><br />此次热切换验证是美国海军10兆瓦先进断路器开发项目中首个（也是全球首个）基于MEMS开关的继电器电源面板的验证成果。]]></description>
<pubDate>2026-01-22 15:35:16</pubDate>
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<title><![CDATA[SonicEdge授权调制超声波IP，加速MEMS扬声器市场发展]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202601/13814.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2026/0114/thumb_150_150_20260114023739474.jpg border='0' /><br />SonicEdge正以基于成熟硅技术的革命性MEMS扬声器引领音频行业发展。作为先进音频生成领域的先驱者，SonicEdge致力于打造突破性的音频解决方案，在极其小的空间内实现更强大的性能。]]></description>
<pubDate>2026-01-14 14:35:03</pubDate>
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<title><![CDATA[综述：MEMS电磁执行器的最新设计与应用进展]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202512/13787.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1223/thumb_150_150_20251223113204147.jpg border='0' /><br />本文对MEMS电磁执行器的最新研究进展进行了系统综述，重点阐述了其核心工作原理，包括洛伦兹力机制以及磁吸引或排斥机制，并分析了当前最先进的MEMS制造技术，例如先进微加工工艺、增材制造方法以及创新材料的应用。]]></description>
<pubDate>2025-12-23 11:36:34</pubDate>
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<title><![CDATA[华中科大开发多功能MEMS谐振器，可实现双模传感和ppb级时钟]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202512/13765.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1206/thumb_150_150_20251206084636126.jpg border='0' /><br />研究团队提出了一种为新兴的蓝边带激励（BSE）方案定制的新型MEMS谐振器，能够在适中的频率范围内实现多模态激励，并诱导复杂的非线性模态耦合。]]></description>
<pubDate>2025-12-06 20:41:27</pubDate>
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<title><![CDATA[MEMS开关厂商Menlo Micro取得重大里程碑式进展]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202511/13740.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1126/thumb_150_150_20251126080745707.jpg border='0' /><br />全球领先的MEMS开关厂商Menlo Micro致力于将其MEMS技术打造成为新的行业标杆，近期宣布已交付第一百万个MEMS开关（Ideal Switch）产品给客户，这对于这家总部位于美国加利福尼亚州的公司而言是一个重要的里程碑式进展。]]></description>
<pubDate>2025-11-26 20:05:04</pubDate>
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<title><![CDATA[北理工在压电MEMS扬声器领域取得进展，优化电极和驱动方案以提升声压级]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202511/13719.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1115/thumb_150_150_20251115040952767.jpg border='0' /><br />北京理工大学谢会开教授团队提出了一种具有准封闭振膜和双顶部电极（内电极与外电极）结构的压电MEMS扬声器。研究发现最佳驱动相位在不同的频率范围内变化，并且还取决于偏置电压水平。]]></description>
<pubDate>2025-11-15 16:05:59</pubDate>
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<title><![CDATA[压电MEMS风扇应用于英伟达的边缘AI超级计算机]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202511/13712.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1113/thumb_150_150_20251113020612739.jpg border='0' /><br />这款基于压电MEMS技术的风扇模块AirJet PAK 5C-25尺寸为100毫米 x 65毫米x 9 8毫米，其散热能力高达25瓦，足以满足英伟达（NVIDIA）Jetson Orin Nano Super边缘AI处理器的散热需求。]]></description>
<pubDate>2025-11-13 14:03:24</pubDate>
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<title><![CDATA[高透明无铅压电触觉器件，助力表面触感模拟应用]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202511/13705.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1109/thumb_150_150_20251109113410794.jpg border='0' /><br />研究人员利用铌酸钾钠（KNN）和透明导电氧化物薄膜，开发出一种高透明无铅压电触觉器件。生长于玻璃衬底上的KNN薄膜具有纯钙钛矿相结构和致密微结构。该器件透光率高达80%，优于锆钛酸铅（PZT）薄膜。]]></description>
<pubDate>2025-11-09 11:31:54</pubDate>
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<title><![CDATA[新型AlScN多层压电薄膜，赋能压电MEMS执行器]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202510/13684.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1029/thumb_150_150_20251029090359858.jpg border='0' /><br />AlScN是MEMS器件中应用的一种新型压电执行器替代材料，应用包括MEMS扬声器、压电MEMS超声换能器（PMUT）、MEMS微镜以及MEMS风扇等。]]></description>
<pubDate>2025-10-29 09:00:24</pubDate>
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<title><![CDATA[压电MEMS谐振式扫描镜，用于广角高频扫描]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202510/13676.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1025/thumb_150_150_20251025113204472.jpg border='0' /><br />研究人员开发了一种采用创新翼形驱动器设计的压电MEMS谐振式扫描镜，实现了大光学扫描角和高频驱动下的稳定性能。基于KNN压电薄膜的广角高频MEMS微镜的实现，标志着光学扫描技术的进步。]]></description>
<pubDate>2025-10-25 11:30:00</pubDate>
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<title><![CDATA[基于超构表面的机械波操控新方法：革命性提升操控声音和振动的能力！]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202510/13661.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1016/thumb_150_150_20251016110353767.jpg border='0' /><br />这些超构表面采用尖端3D打印技术制造，具有微观柱状阵列，它们根据相对的扭转角度，以复杂的方式相互作用，进而使研究人员能够实时动态调整波的传播行为。]]></description>
<pubDate>2025-10-16 11:02:09</pubDate>
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<title><![CDATA[压电MEMS微镜最新进展：Sc掺杂AlN带来性能提升]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202510/13656.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1014/thumb_150_150_20251014091638772.jpg border='0' /><br />研究人员系统地研究了基于AlN和AlScN的MEMS微镜的最新进展，重点关注了它们的压电特性、制造方法和器件性能。文中提供了基于这两种材料的代表性MEMS微镜设计的结构分类，并分别按自由度和制造架构进行了分类。]]></description>
<pubDate>2025-10-14 09:13:36</pubDate>
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<title><![CDATA[综述：压电主动式空气冷却散热器件]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202510/13653.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/1013/thumb_150_150_20251013111729931.jpg border='0' /><br />本文概述了压电风扇、射流散热器和冷却器的工作原理，总结了其结构设计及性能表现，并探讨了其在实际应用中的优缺点，重点关注了压电可动部件设计、腔体设计以及气流进出口设计对冷却散热性能的影响。]]></description>
<pubDate>2025-10-13 11:14:33</pubDate>
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<title><![CDATA[西安交大研发温度补偿MEMS谐振器，实现ppb级频率稳定性]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202509/13645.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/0927/thumb_150_150_20250927070718128.jpg border='0' /><br />本文提出了一种基于非线性介导的温度补偿方案，旨在快速且精确地控制MEMS谐振器的频率稳定性。通过利用Duffing谐振器的非线性振幅-频率依赖性，可在第一阶段恒温控制后主动抑制频率漂移，所提出的MEMS谐振器实现了ppb级的频率稳定性。]]></description>
<pubDate>2025-09-27 19:04:17</pubDate>
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<title><![CDATA[史上最小的片上马达：基于超构表面的光驱动微型马达]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202509/13637.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/0925/thumb_150_150_20250925102627464.jpg border='0' /><br />哥德堡大学的一个研究项目利用光学超构表面（metasurfaces）的特性，制造出微米尺度的光驱动齿轮机构，为“史上最小的片上马达”铺平了道路。]]></description>
<pubDate>2025-09-25 22:24:51</pubDate>
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<title><![CDATA[SiTime推出全新MEMS谐振器，变革边缘AI和物联网时钟应用]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202509/13632.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/0921/thumb_150_150_20250921102906891.jpg border='0' /><br />Titan系列MEMS谐振器凝聚了SiTime十余年在MEMS设计、材料科学和半导体工艺工程领域的创新成果。SiTime专有的MEMS技术（现已与FujiMEMS合作，发展至第六代）是Titan系列产品的基础，领先竞争对手数年。]]></description>
<pubDate>2025-09-21 10:23:02</pubDate>
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<title><![CDATA[北理工在压电MEMS扬声器方面取得进展，提升声压级和总谐波失真性能]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202509/13614.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/0913/thumb_150_150_20250913025311933.jpg border='0' /><br />本研究提出了一种简单而有效的提升压电MEMS扬声器的全频段SPL和THD性能的策略：通过在性能良好的MEMS扬声器周围引入双S驱动器或类似结构，有望实现覆盖整个频率范围的全优化压电MEMS扬声器。]]></description>
<pubDate>2025-09-13 14:50:06</pubDate>
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<title><![CDATA[面向入耳式应用的全频MEMS扬声器：高度微型化、高声压级]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202509/13607.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/0906/thumb_150_150_20250906104654226.jpg border='0' /><br />研究人员开发了一种完全集成的真正MEMS扬声器，其利用了矩形执行器和SU-8声屏蔽结构。这款高度微型化的扬声器的有效面积仅为3& 8239;mm ×& 8239;3& 8239;mm，在整个可听频率范围内实现了115 dB声压级（SPL）。]]></description>
<pubDate>2025-09-06 22:44:53</pubDate>
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<title><![CDATA[MEMS风扇用于AI数据中心，实现光收发器的主动热管理]]></title>
<link><![CDATA[http://www.mems.me/mems/actuator_202509/13602.html]]></link>
<description><![CDATA[<img src=http://www.mems.me/uploadfile/2025/0905/thumb_150_150_20250905034121964.jpg border='0' /><br />与传统主要面向高功率（千瓦级）处理器和GPU的散热方式不同，xMEMS的MEMS风扇聚焦于那些大型散热系统难以覆盖的小型高热负载组件，例如工作功耗为18W或更高的光收发器DSP。]]></description>
<pubDate>2025-09-05 15:39:34</pubDate>
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