Thu, 09 Apr 2026 05:12:51 +0800 Thu, 09 Apr 2026 05:12:51 +0800 https://www.mems.me 麦姆斯咨询介绍各种MEMS传感器的市场发展情况。 https://www.mems.me https://www.mems.me 麦姆斯咨询介绍各种MEMS传感器的市场发展情况。 https://www.mems.me https://www.mems.me 60 https://www.mems.me Thu, 09 Apr 2026 05:12:51 +0800
深圳大学许威副教授团队提出一种CMOS-MEMS单片集成传感系统（SoC），将电容式微悬臂梁阵列与片上信号处理电路集成，从而构建了一种可同时检测流量、温度等物理量的多参数传感平台。]]> 2026-03-29 20:57:45 https://www.mems.me
本文系统介绍了封装结构、材料选择与工艺参数对不同精度等级MEMS惯性传感器工作性能的影响，通过多角度、多层次分析，强调了封装在抑制环境干扰、降低内部噪声、提升机械稳定性方面的关键作用，揭示了电子封装技术与MEMS惯性传感器服役性能之间的耦合关系。]]> 2026-03-20 20:30:13 https://www.mems.me
研究人员提出一种由敏感结构与接口电路构成的新型非对称高性能MEMS摆式电容感测加速度计。该敏感结构采用非对称质量块设计，可以显著提升器件的灵敏度与结构稳定性。]]> 2026-03-20 15:43:52 https://www.mems.me
为提升压电MEMS加速度计的灵敏度，印度理工学院鲁尔基分校提出了一种新型串联多电容器拾取式MEMS结构设计。通过经严格校准的COMSOL仿真可知，该结构中串联集成电容器的数量与压电MEMS加速度计的差分灵敏度呈直接相关关系。]]> 2026-03-20 09:32:14 https://www.mems.me
该方法无需额外仪器，仅通过对MEMS陀螺仪的正交校正电极施加静电力，即可实现解调相位误差的识别。利用这种方法，可在全温度范围内对MEMS陀螺仪解调相位误差进行识别。重复实验证实了所识别相位误差的一致性，并通过测量补偿后的零偏输出进一步验证识别和补偿过程的准确性。]]> 2026-03-20 09:02:53 https://www.mems.me
本文对三轴MEMS陀螺仪进行了系统而全面的探讨，重点聚焦三种主流集成方法：三维集成三个单轴陀螺仪、单片单结构三轴陀螺仪，以及单片多结构陀螺仪阵列。此外，该综述还对这些方法进行了对比分析，探讨了各自的优缺点，并展望了三轴MEMS陀螺仪的未来应用及发展趋势。]]> 2026-03-19 21:29:29 https://www.mems.me
伊朗科研人员研发出一种高性能三轴电容式MEMS加速度计，其尺寸高度紧凑，在高灵敏度、低噪声与高精度（低非线性）三方面实现了卓越的综合性能。]]> 2026-03-14 21:18:44 https://www.mems.me
该项目旨在利用薄膜压电超构材料（metamaterials）的拓扑特性，研发一种新型MEMS惯性传感器，突破现有器件受到材料本身限制的性能水平。]]> 2026-03-14 15:50:38 https://www.mems.me
该研究为各领域的MEMS陀螺仪从业者，特别是从事导航与控制（GNC）系统相关工作的人员，提供了一份全面的教程。]]> 2026-03-14 15:00:25 https://www.mems.me
本文概述了集成光子陀螺仪（IPG）技术及其研究的最新进展，包括目前正在开发的多种IPG技术类型，例如波导螺旋型IPG、环形激光陀螺型IPG以及无源环形谐振腔型IPG等。]]> 2026-03-14 08:43:18 https://www.mems.me
该压电MEMS加速度计实现了优异的性能，具有优异的抗交叉轴干扰能力，可实现沿敏感轴的高精度振动测量，在工业、汽车及航空航天等领域中，对高g值、宽带振动信号的高精度实时监测具有重要应用前景。]]> 2026-03-12 21:43:40 https://www.mems.me
本文提出一种基于光纤布拉格光栅（FBG）的三轴加速度计，并对其开展设计、校准及性能表征。该加速度计采用单惯性质量块架构，其加速度引起的质量块位移使6根光纤（OF）发生形变，形成12个作为弹性元件的光纤段（FS），通过刻写在每根光纤中的FBG实现应变测量。]]> 2026-03-11 20:37:47 https://www.mems.me
该MEMS陀螺仪则具备可与中低端导航级光纤陀螺仪相媲美的精度，同时兼具小型化、低成本、高可靠性等优势，有望在惯性传感器领域掀起一场革命。]]> 2026-03-10 14:10:53 https://www.mems.me
SBG Systems推出全球首款基于MEMS技术的自主寻北惯性测量单元（IMU）——陀螺罗盘，无需全球导航卫星系统（GNSS）辅助即可独立运行——这是MEMS技术的一项突破性进展。该突破为包括姿态航向参考系统（AHRS）和惯性导航系统（INS）解决方案在内的未来产品铺平了道路。]]> 2026-03-10 11:03:39 https://www.mems.me
Silicon Sensing的MEMS陀螺仪成为Kongsberg Discovery最新发布的革命性寻北仪的核心部件。该寻北仪在可靠性、精准性和易用性方面取得了突破性进展，面向无人机、水下航行器和其它高要求的导航应用。]]> 2026-03-10 10:40:47 https://www.mems.me
为了降低热应力并提升其性能，中国人民解放军陆军工程大学等研究人员从理论上推导了高精度MEMS蝶型陀螺仪热应力的产生机理及其影响，为优化和实验提供了依据。基于MEMS蝶型陀螺仪的工作模态，设计了一种新型悬臂板结构，并通过仿真优化实现了应力隔离。]]> 2026-03-07 15:56:00 https://www.mems.me
国防科技大学的研究团队提出并通过实验验证了一种局部热调谐方法，以抑制熔融石英电感式振动环形陀螺仪中的频率失配，为提高其在恶劣环境应用中的精度铺平了道路。]]> 2026-03-07 14:45:14 https://www.mems.me
TDK面向游戏应用推出的传感方案包含集成MEMS惯性测量单元（IMU）与TMR传感器的PositionSense 9轴解决方案，用于姿态检测与轨迹导航。]]> 2026-03-06 15:55:17 https://www.mems.me
这款高性能压电环形MEMS偏航陀螺仪采用单晶硅平台制备而成，综合性能指标可与当前最先进的PZT环形陀螺仪相媲美。]]> 2026-03-06 15:33:25 https://www.mems.me
本文阐述了各类光纤陀螺仪架构的工作原理、结构特征，以及各自的主要优势与局限性；重点分析了先进的信号处理与误差补偿算法，包括滤波技术、噪声抑制方法、热漂移与机械漂移的补偿，以及新兴的基于机器学习（ML）的方法。]]> 2026-03-06 10:16:55 https://www.mems.me