Thu, 05 Nov 2026 07:09:36 +0800 Thu, 05 Nov 2026 07:09:36 +0800 https://www.mems.me 麦姆斯咨询介绍各种MEMS传感器的市场发展情况。 https://www.mems.me https://www.mems.me 麦姆斯咨询介绍各种MEMS传感器的市场发展情况。 https://www.mems.me https://www.mems.me 60 https://www.mems.me Thu, 05 Nov 2026 07:09:36 +0800
该综述首次以简洁而全面的方式阐述了近30年来CMUT制造领域所取得的重要进展，创新性地介绍了CMUT制造技术的发展历程、里程碑成果、工艺分类、详细流程、设计准则、注意事项以及特殊应用场景下的工艺解决方案。]]> 2026-11-03 21:38:55 https://www.mems.me
本文重点介绍超声检测的基本原理及其多样化应用，涵盖从实验室尺度研究到生产制造，再到实际部署后的运行监测等多个环节。除了系统梳理现有电池超声检测文献（包括电池失效模式的声学检测以及不同物理现象的解耦），本文还重点关注电池超声检测领域的新兴方法与应用。]]> 2026-11-01 14:06:54 https://www.mems.me
本文通过对心腔内超声（ICE）和血管内超声（IVUS）换能器中功能材料的对比分析，阐述了二者共有的基本原理与独特技术要求，从而填补了该领域的研究空白。]]> 2026-11-01 13:50:40 https://www.mems.me
研究人员开发了一种集成超构表面的PMUT，显著提升了电-声能量转换效率，从而大幅改善了发射性能。该PMUT性能特点尤其适用于长距离物体传感以及便携式和植入式设备等要求苛刻的应用场景。]]> 2026-11-01 12:58:11 https://www.mems.me
本文提出一种基于空心石英纤毛的MEMS矢量水听器。该设计可避免纤毛在振动时因弯曲变形而造成的能量损耗，从而将声驱动力高效传递至十字梁；同时，以空心圆柱结构替代传统实心纤毛，在保持外部几何尺寸不变的同时增大有效受声面积、降低附加质量，实现材料与结构的协同优化。]]> 2026-11-01 11:29:11 https://www.mems.me
本文系统梳理了CMUT的工作原理与制造工艺，重点分析了其在医学超声和光声成像领域的研究进展，以及输出声压较低、介质充电效应和高偏置电压需求三项主要挑战，并探讨了潜在的综合解决方案，旨在提升CMUT性能并推动其临床应用。]]> 2026-11-01 08:18:43 https://www.mems.me
为解决MEMS压阻式压力传感器在灵敏度与非线性之间难以平衡的问题，上海交通大学、东南大学、西安电子科技大学等联合开发了一种具有窄横梁膜-短梁结构的MEMS压阻式压力传感器。]]> 2026-10-24 16:06:44 https://www.mems.me
森萨塔（Sensata）近日宣布推出全新超声波流量传感器FL系列，这是一款面向人工智能（AI）数据中心及其他工业应用中液体冷却系统的非侵入式流量监测解决方案。该系列传感器支持最高400升每分钟的流量，可实时监控冷却液流量，保障关键计算基础设施的稳定运行。]]> 2026-10-24 14:34:09 https://www.mems.me
在分布式光纤传感技术中，光纤布拉格光栅（FBG）传感器是可穿戴触觉传感极具潜力的技术路线。]]> 2026-10-24 10:44:03 https://www.mems.me
本文系统梳理了AI辅助MOS气体传感的最新进展，探讨了气敏材料在MEMS平台上实现高一致性集成的重要性，旨在阐明材料、微系统与算法之间的协同效应如何推动下一代自适应、低功耗和智能气体传感技术的发展。]]> 2026-10-24 09:30:11 https://www.mems.me
全新的“Digital Ruby”系列产品在紧凑的MEMS传感器设计中，集“卓越性能、坚固结构与数字输出”于一体。继Jewell公司于2025年推出“Analog Ruby”MEMS传感器之后，该数字系列的问世进一步扩展了“Ruby”平台，旨在满足各类应用对精确加速度及倾角测量的需求。]]> 2026-10-18 21:21:15 https://www.mems.me
森萨塔（Sensata）宣布其制动力传感器现已应用于多款领先电动汽车的机电制动（EMB）系统中。这一里程碑标志着汽车行业正从传统的液压制动向全电动“线控制动”系统转型。]]> 2026-10-18 20:31:58 https://www.mems.me
研究人员开发了一种新型电化学传感器，可快速、精准地检测一种天然化合物——丁香酚。丁香酚广泛应用于食品、饮料与香精行业，正是它赋予丁香标志性风味与香气；测定商品中的丁香酚含量，对生产厂商与监管机构至关重要。]]> 2026-10-18 16:57:48 https://www.mems.me
这项研究提出的MEMS地震仪在微型化基础上实现了兼顾均衡与高性能的突破。通过创新设计波纹间隙电容式检测梳齿，显著拓宽了线性范围，解决了传统架构中灵敏度与线性度难以兼顾的矛盾。]]> 2026-10-11 17:46:45 https://www.mems.me
基于PMUT的集成式无线柔性可穿戴听诊系统，用于持续采集心肺活动产生的机械声学信号。该系统具有高灵敏度、宽工作带宽和平坦的频率响应，结合柔性共形封装和无线读出电路，能够在日常活动场景下实现长期稳定的心肺功能监测。]]> 2026-10-11 15:59:58 https://www.mems.me
上海交通大学和北京智芯微电子科技有限公司的联合研究团队首次提出了一款具有皮特斯拉（pT）级低噪声的高分辨率5 mm单轴MEMS螺线管磁通门传感器芯片。]]> 2026-09-30 19:01:34 https://www.mems.me
Sensibel发布了性能处于行业领先水平的新款光学MEMS麦克风：SBM140B系列。Sensibel称SBM140B系列产品为“全球噪声最低、动态范围最宽的MEMS麦克风”。]]> 2026-09-13 21:09:25 https://www.mems.me
日本东北大学的研究团队近期开发出一种创新的方法，通过直接在MEMS器件内部嵌入量子传感器来解决上述问题。该方法能够准确检测MEMS器件何时处于应力状态。这一发现可为未来面向下一代技术的微型化、高集成度金刚石量子器件的研发提供支撑。]]> 2026-09-13 15:03:35 https://www.mems.me
研究人员开发了一种基于石墨烯压阻元件的MEMS加速度计，旨在实现突发冲击、剧烈振动及极端工况（例如发动机故障诊断和武器冲击测试）下的高精度加速度测量。]]> 2026-08-30 16:13:12 https://www.mems.me
西北工业大学的研究团队近期提出一种对称三层微光机电系统（MOEMS）加速度计，并分析了其器件级灵敏度权衡、交叉耦合特性以及测量结果与有限元仿真间的动态一致性。]]> 2026-08-30 15:50:15 https://www.mems.me