分辨率达0.01纳米的光学位置传感器
2017-02-14 10:24:35 来源：麦姆斯咨询 评论：0 点击：
据麦姆斯咨询报道，Zygo Corporation公司推出了ZPS绝对位置测量系统，能够实现各种先进应用的高精度测量和位置控制，如可变形光学器件、透镜定位系统和精细平台控制。
据麦姆斯咨询报道，Zygo Corporation公司推出了ZPS绝对位置测量系统，能够实现各种先进应用的高精度测量和位置控制，如可变形光学器件、透镜定位系统和精细平台控制。
该系统支持最大64同步通道的非接触、高精度绝对位置测量，该系统主要包括一款新型超紧凑光学传感器及硬件平台，能够在1.2mm范围内提供极佳的灵敏度、分辨率和稳定性。这款先进的光学传感器不会生产热量，并且无视电磁干扰，测量分辨率可达0.01 nm，测量稳定性优于1 nm/day。
此外，这款ZPS绝对位置测量系统使用光缆传输，可进行远距离传感测量，不会影响测量数据的精度。其可选配件可实现环境状况改变时的实时自动补偿。
延伸阅读：