《美信6轴MEMS IMU:MAX21100》
2014-10-26 20:27:29   来源:微迷   评论:0   点击:

美信MAX21100是单芯片“3轴陀螺仪 + 3轴加速度计”的惯性测量单元(IMU),它集成了具有自主专利的运动合成引擎(MME)实现9轴传感器合成,适用于手机和平板电脑的应用、游戏控制器、GPS和惯性导航系统、健康和运动状态监测设备等。

Maxim Integrated 6-Axis MEMS IMU: MAX21100

——逆向分析报告

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美信6轴MEMS IMU:MAX21100逆向分析报告

美信MAX21100是单芯片“3轴陀螺仪 + 3轴加速度计”的惯性测量单元(IMU),它集成了具有自主专利的运动合成引擎(MME)实现9轴传感器合成,适用于手机和平板电脑的应用、游戏控制器、GPS和惯性导航系统、健康和运动状态监测设备等。

MAX21100是业内最高精度的6+3 DoF惯性测量单元,MAX21100可通过一个专用I2C总线主控器和外部的一个磁力计连接。MAX21100封装形式为LGA-16 pin,封装尺寸为3 mm x 3 mm x 0.83 mm,工作温度范围为-40℃至+85℃,可在低至1.71V的电压下工作。

MAX21000采用PSM-X2工艺,该工艺由SensorDynamics和弗劳恩霍夫研究所联合开发。PSM-X2采用表面微机械加工工艺制作机械机构,采用金-硅共晶晶圆键合对陀螺仪进行真空封装。

本报告将美信MAX21100与全球最先进的几款6轴MEMS IMU进行对比分析,厂商包括意法半导体、博世、InvenSense。出人意料的是,美信的这款产品具有很强的市场竞争力,因为其中一个重要因素是芯片面积较小。

精彩掠影:

 美信6轴MEMS IMU:MAX21100封装

美信6轴MEMS IMU:MAX21100封装

 美信6轴MEMS IMU:MAX21100 ASIC芯片标记

美信6轴MEMS IMU:MAX21100 ASIC芯片标记

 美信6轴MEMS IMU:MAX21100 MEMS芯片标记

美信6轴MEMS IMU:MAX21100 MEMS芯片标记

 美信6轴MEMS IMU:MAX21100部分工艺流程

美信6轴MEMS IMU:MAX21100部分工艺流程

报告目录:

Glossary

Overview/Introduction, Maxim Company Profile

Physical Analysis
• Package
     - Package Views & Dimensions
     - Package Opening
     - Wire Bonding Process
     - Package Cross-Section
• ASIC Die
     - View, Dimensions & Marking
     - Delayering - Main Blocks Identification
     - Cross-Section - Process Characteristics
• MEMS Die
     - View, Dimensions & Marking
     - Bond Pad Opening
     - Cap Removed & Cap Details
     - Sensing Area Details
     - Cross-Section (Sensor, Cap & Sealing)
     - Process Characteristics
• Consumer 6-Axis IMU Comparison

Manufacturing Process Flow
• Global Overview
• ASIC Front-End Process
• ASIC Wafer Fabrication Unit
• MEMS Process Flow
• MEMS Wafer Fabrication Unit
• Packaging Process Flow & Assembly Unit

Cost Analysis
• Main steps of economic analysis
• Yields Hypotheses
• ASIC Front-End Cost
• ASIC Back-End 0 : Probe Test & Dicing
• ASIC Wafer & Die Cost
• MEMS Front-End Cost
• MEMS Back-End 0 : Probe Test & Dicing
• MEMS Front-End Cost per process steps
• MEMS Wafer & Die Cost
• Back-End : Packaging Cost
• Back-End : Packaging Cost per Process Steps
• Back-End : Final Test Cost
• MAX21100 Component Cost
• Consumer 6-Axis IMU Cost Comparison

Estimated Price Analysis

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