罕王微电子总裁黄向向：MEMS传感器在中国有很大发展机会
2018-08-28 21:12:25   来源：中国电子报   评论：0   点击：

在高端传感器领域，目前全球市场主要被美国、日本、德国的几家龙头公司主导。国内高端传感器与国外相比差距很大，商业应用的中高端传感器产品基本上都是进口的。MEMS传感器对技术要求非常高，相应的，其制造难度也相当大。MEMS传感器涉及设计、仿真、生产，生产又涉及很多工艺、设备、材料，同时还要考虑产品的良率和可靠性，因此，大规模生产存在技术难点。

黄向向说，MEMS传感器是国际传感器产业的主流技术。它是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术。因此，它与传统的IC工艺有许多相似之处，但是有些复杂的微结构难以用IC工艺实现，必须采用微加工技术制造。黄向向表示，MEMS传感器有70%的工艺和IC是一致的，但是两者又不完全一样：集成电路是二维的，它没有可动部分，MEMS传感器是三维的，所以决定了MEMS不会遵从摩尔定律。MEMS传感器的核心标准是：结构更可靠、功能更强、成本更低、更能规模化量产。MEMS传感器的特殊性使得它没有统一的标准，因此，商业运作上也带来一些困扰，即每一个产品在开发时都不同，都需要定制。因为它的不同，所以能够进行很多创新。此外，MEMS对设备的依赖性不像IC那么强，它对技术和工艺要求比较高，并不完全依赖设备，因此，不用投入像IC生产线那么巨额的资金。从这个角度说，MEMS传感器在中国有很大的发展机会。

中国发展MEMS传感器要做到以下几点：第一，营造良好的市场环境，企业的生命在市场，市场和企业对接好才能促进企业发展。第二，资金问题，这也是产业发展面临的最大困扰。MEMS传感器的特点是投资大、周期长，从概念设计到产品成型，平均要经历二十多年时间。因此，国家应该针对传感器企业规模小、品种多、技术要求高的特点，出台相应的资金扶持政策。她强调，政策不能太宏观，一定要精准，并能够落地。第三，人才储备。高端传感器发展需要多方面人才，企业应加强人才的引进与培养。第四，多进行国际交流，在交流过程中不断吸取国际先进经验。

2016年，罕王微电子收购Maxim（美信）公司MEMS传感器业务，从而获得了高端惯性测量单元的国际领先工艺技术，拥有了国际一流研发团队以及多项MEMS发明专利。可生产3轴及6轴陀螺仪和惯性测量单元产品、微硅麦克风、微硅红外传感器、体表波微硅滤波器和压力传感器等高端MEMS产品，同时还建立了位于4个国家的5个营销机构，不断拓宽国际化市场渠道。罕王微电子在辽宁沈抚新区建成填补国内空白、具有国际领先水平的8英寸纯MEMS传感器芯片规模化量产线，为客户提供一站式MEMS全产业链服务。黄向向表示，罕王微电子采用的“代工+定制服务”模式，就是要解决国内MEMS传感器量产的问题，罕王微电子有丰富的MEMS传感器产品化经验，能帮助用户实现量产化设计。黄向向介绍说，罕王微电子产品可广泛用于消费电子、汽车电子、工业控制、无人机、机器人、5G通信、生物医药、物联网、智能电网等领域。

延伸阅读：

《MEMS产业现状-2018版》

《MEMS压力传感器市场和技术-2018版》

《高端惯性系统市场与技术-2017版》

《磁传感器市场与技术-2017版》