兵器214所围绕LTCC、MEMS两大核心技术开拓创新
2012-11-05 13:15:34   来源：微迷   评论：0   点击：

中国兵器工业第214研究所是一家从事微电子技术研发的驻苏科研单位，建所以来为国家和社会研制了数百种高新技术产品。近年来，214所先后引进了包括5名国家“千人计划”专家在内的一批技术领军人才和4个国内领先水平的技术团队，围绕LTCC（低温共烧陶瓷）、MEMS（微机电系统）两大核心技术，开拓创新，取得重大突破。

LTCC（低温共烧陶瓷）技术是无源元件集成的主流技术。近年来，214所基于该项技术，为航天某型号卫星成功研制了关键部件的先行样件，在增强卫星可靠性的同时，大大提高了卫星的有效载荷，产品性能达到国际先进水平，LTCC工艺技术达到国内领先水平。

MEMS（微机电系统）主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科，MEMS产品在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事等领域中都有着十分广阔的应用前景。目前，214所研发的MEMS高G值加速度传感器技术实现定型转产，产品已成功配套于多个武器装备系统，填补了国内空白,并开展了MEMS加速度传感器系列、MEMS陀螺仪以及MEMS压力传感器等产品的研制工作，同时结合民用市场需求积极推进MEMS产品在汽车电子、消费电子等多个领域的推广及应用。

近年来，214所承担了“973”、“核高基”等国家重大专项。拥有自主知识产权的高端SOC芯片研制成功；多芯片组件工艺技术实现了从2D到3D的跨越；基于LTCC的微波/毫米波产品研发能力居国内领先水平；MEMS惯性器件部分关键技术取得重大进展；先进微光成像传感技术率先在国内取得重大突破……各项事业稳定发展，取得了良好的社会效益和经济效益。

三年来，全所专利申请量年均增长率超过50%，获得“苏州市专利工作先进单位”称号。2011年专利申请数量倍增，发明专利申请31项，授权6项，首次成为苏州高新区专利大户，并荣获苏州高新区专利先进单位称号；2012年发明专利申请数量预计将超过40项，并已提交一项PCT国际专利申请。其中，“一种供电与分流装置”已授权发明专利并成功应用于“天宫一号”飞行器电源分系统，实现太阳能电池阵列的供电与分流功能，为我国载人航天事业的发展做出了贡献；“一种压阻式MEMS加速度计”等8项MEMS技术相关发明专利已受理，且“一种多悬臂梁加速度传感器”等3项发明专利已授权，为企业MEMS核心技术及其产业化发展打下了扎实的基础。